판매용 중고 DNS / DAINIPPON SS-W80A-AR #293809354
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DNS/DAINIPPON SS-W80A-AR은 안정적이고, 효율적이며, 반복 가능한 웨이퍼 청소 프로세스를 제공하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 시간당 최대 200-250 웨이퍼 (또는 해당 마스크 수) 의 처리량으로 8 인치 (200mm) 및 10 인치 (250mm) 웨이퍼 및 마스크를 처리 할 수 있습니다. DNS SSW80A-AR 은 프로세스 툴 (process tool) 로서 다양한 기능을 갖춘 자동 스크러버로, 대용량 생산에 적합합니다. 이 장치에는 부드럽고 균일 한 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 처리를위한 고급 공기 부동 장비와 더 나은 입자 제거 효율을위한 추가 진공 시스템이 포함되어 있습니다. "스크러버 '는 또한 사용 되는 청소 화학 약품 의 양 을 감소 시키도록 설계 된 자동" 봉쇄' 장치 와 통합 된 화학 "재활용 '기계 를 갖추고 있다. 장치의 청소 과정은 높은 유체 압력 및 화학 반응 청소 작용을 사용합니다. 조정 가능한 스프레이어 헤드 (sprayer head) 는 청소 화학 물질의 분배를 촉진하는 반면, 브러쉬 홀더는 웨이퍼 표면에 직접 스크러빙 접촉을 제공합니다. 이 장치는 중성, 알칼리, 산성 및 다목적 용액을 포함한 다양한 공정 화학 물질을 실행하도록 설계되었습니다. DAINIPPON SSW-80A-AR은 또한 적절한 청소 제어 및 도구 위생을 보장하는 통합 전도성 모니터를 갖추고 있습니다. 이 모니터는 화학조성 (chemical composition) 과 부피 (volume) 수준을 동시에 모니터링하여 최적화된 화학청소 솔루션을 유지하는 데 도움이 됩니다. 모니터링 및 제어 메커니즘의 조합은 반복 가능한 청소 결과를 보장합니다. 대형 스테인레스 스틸 (Stainless Steel) 및 기타 내구성이 뛰어난 재료로 제조 된이 스크러버 (Scrubber) 는 수년간 안정적인 사용 및 유지 보수 무료 운영을 제공합니다. 이 장치는 Class 1Cleanroom 환경에서 작동하도록 구성되었으며, 운영자를 보호하는 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. SSW-80A-AR 웨이퍼 (SSW-80A-AR Wafers) 및 마스크 스크러버 (Mask Scrubber) 는 두 기판에서 패턴화된 레이어의 다중 레이어를 쉽고 효율적으로 청소할 수 있는 기능을 제공합니다. 대용량 생산에 이상적이며, 전체적으로 높은 수율을 유지하는 깨끗한 결과를 제공 할 수 있습니다.
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