판매용 중고 DNS / DAINIPPON SS-80B #293658147

DNS/DAINIPPON SS-80B는 반도체 및 기타 마이크로 일렉트로닉 응용을위한 웨이퍼 및 회로에 패턴을 만드는 데 사용되는 고급 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 여러 개의 기판 크기에 맞게 설계되었으며, 대상 특정 영역에 대한 조정 가능한 노출 필드 (exposure field size) 를 허용하며, 정밀 정렬을 제공합니다. 이 장치의 핵심 구성 요소는 EUV Optics이며, 사파이어 웨이퍼 (sapphire wafer) 를 사용하여 13.5nm 파장의 빛을 이미징 소스의 웨이퍼로 안내하고 지시합니다. 웨이퍼를 정확하게 패턴화하기 위해 EUV 광학은 빔 패턴 정렬 기계 (BPAS) 를 사용합니다. 이는 입사된 광선 각도를 미세하게 조정하는 이동 가능한 거울의 배열을 통해 작동하는 2 빔 정렬 도구입니다. 이 BPAS 에셋은 빔을 정렬할 때 높은 정밀도와 정확도를 제공하므로 복잡한 패턴 생성을 용이하게합니다. 또한 DNS SS-80B 는 다양한 특수 기능을 통합하여 대규모 운영 시 프로세스 속도와 정확성을 높입니다. 고급 데이터 분석 (Advanced Data Analysis) 및 처리를 통해 모델은 다중 도메인 노출 매개변수 (Multi-Domain Exposure Parameter) 의 사용을 최적화하여 높은 감광 성능을 구현할 수 있습니다. 또한, 이 장비는 단일 샷 조사 (single-shot irradiation) 기능을 제공하여 주어진 영역에 대한 노출 횟수를 줄여 패턴 시간 (patterning time) 을 크게 줄입니다. 안전 측면에서, 시스템은 레이저가 과열되지 않도록 액체 냉각 레이저 인클로저 (liquid-cooled laser enclosure) 와 같이 사용자를 보호하는 몇 가지 기능을 가지고 있으며, 지정된 영역 외부에서 방출되는 빔을 신속하게 감지하는 슬라이드 스캐너 (slide scanner) 기능도 제공합니다. 전반적으로, DAINIPPON SS-80B는 오늘날의 급속히 발전하는 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 레이저 냉각, 단일 샷 조사, 정밀 패턴화 등 다양한 기능을 제공하는 고급 포토 esist 유닛입니다.