판매용 중고 DNS / DAINIPPON SKW-80A-BVP #9053621
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ID: 9053621
웨이퍼 크기: 8"
Coater / Developer system, 8"
Includes:
MICROBAR Trackmate
A & B Chemical dispense units
DAINIPPON Cassette stage unit
Misc. parts.
DNS Screen DNS/DAINIPPON SKW-80A-BVP는 마이크로 및 나노 제조 공정의 개발에 사용되는 고성능 포토 esist 장비입니다. 마이크로일렉트로닉 (microelectronic) 기기에서 대규모 집적회로 (mage scale integrated circuit) 에 이르기까지 다양한 응용에 적합한 매우 정확한 저항패턴을 생산할 수 있다. 시스템은 4.2mm 두께의 photoresist 레이어를 사용하여 필요한 패턴을 생성합니다. 그것은 이중 껍질, 속이 빈 실린더 등방성 코어, 그리고 균일 한 조명을 제공하는 환형 파면 기구로 구성됩니다. 이 장치는 자동 노출 사이클 (automated exposure cycle) 을 통해 원하는 저항 패턴에 대한 저항 두께, 농도, 필름 텍스쳐를 포함한 모든 매개변수를 관리합니다. 필름의 특성은 가변 주파수, 에너지 밀도 및 온도 조절을 통해 향상됩니다. 사용 된 기판 재료는 매우 가볍고 내구성이 뛰어납니다. 그것 은 질화물 "티타늄 ', 규산염" 티타늄' 또는 이산화규소 와 같은 열 과 화학 내성 층 으로 이루어져 있다. 코어 (core) 및 환형 (annular) 성분은 재료 변동으로 인한 왜곡을 줄이고 넓은 지역에 대한 균일 한 조명을 보장하도록 설계되었습니다. 또한, 컴퓨터에는 디지털 이미징 도구 (digital imaging tool) 가 장착되어 있어 노출 과정이 자동화되고 정확하도록 노출되기 전과 도중 저항 프로파일 (resist profile) 을 디지털로 조정할 수 있습니다. 에셋은 또한 멀티 레이어 리소그래피 (multi-layer lithography) 및 인라인 리소그래피 시스템 (inline lithography system) 을 지원하므로 여러 위치에서 동시에 프로세스를 수행할 수 있습니다. 이 모델은 손쉬운 운영 및 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 모든 주요 구성 요소는 먼지 방지 (dust-proof) 엔클로저에 고정되어 보호되므로 장비의 안전한 장기 운영을 보장합니다. 포토리스 연주자의 핵심은 빨리 제거하고 설치하기 쉽습니다. 또한 간편한 디바이스 유지 보수 (Maintenance) 를 통해 구성요소를 빠르고 쉽게 액세스할 수 있습니다. DAINIPPON Screen DNS SKW-80A-BVP 포토 esist 시스템은 매우 고급적이고 신뢰할 수있는 장치입니다. 매우 정밀한 패턴을 제작할 수 있는 최상위 (Top-of-the-line) 기능을 제공하며 다양한 응용 프로그램에서 우수한 결과를 얻을 수 있습니다. 마이크로제작 (micro-fabrication) 프로세스에 적합한 솔루션으로, 매우 정밀한 패턴을 빠르고 효율적으로 안정적이고 경제적으로 생산할 수 있습니다.
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