판매용 중고 DNS / DAINIPPON SKW-629-BV #293808882

DNS/DAINIPPON SKW-629-BV는 매우 정확한 반도체 리소그래피 응용 프로그램 생산을 위해 설계된 고정밀도 포토리스 장비입니다. 이 시스템에는 DIS (Digital Iris Unit) 와 대형 기판을 수용하는 9 인치 스테이지가 있으며, 이는 최대 50nm 회선 및 공간 용도에 사용될 수 있습니다. DIS (Digital Iris Machine) 는 포토 esist 응용 프로그램에 대한 높은 수준의 정밀도를 제공합니다. 광원과 제어 장치의 두 가지 구성 요소로 구성됩니다. 광원은 자체 포함 LED 소스로, 스텝 모터와 연결되어 중앙에서 대상 저항점까지 LED 스팟의 높은 정확도 이동을 제공합니다. 제어 장치는 시야 도구 (vision tool) 에서 대상 위치 데이터를 수집하여 3D 좌표로 변환합니다. 이 좌표는 LED 스팟을 저항층 (resist layer) 에 정확하게 배치하는 데 사용됩니다. 이를 통해 photoresist 레이어의 패턴을 정확하게 오버레이할 수 있습니다. 9 인치 스테이지는 직경이 최대 4 인치, 저항층이 큰 기판을 지원합니다. 또한 정렬 정확성을 보장하는 지능형 에지 감지 에셋이 있습니다. 이 모델은 에지 프로파일 정보 (edge profile information), 대상 방향 데이터 (target orientation data) 및 글로벌 조명 매개변수 (global illumination parameters) 를 사용하여 레이어를 선형으로 등록하고 폐색 또는 모서리 오류를 제거합니다. 이 장비는 여러 가지 안전 기능도 제공합니다. 여기에는 과압 차단, 과잉 조명 차단, 전압 변동으로 인한 잠재적 손상을 방지하는 긴급 전원 차단 (Emergency Power Shutoff) 이 포함됩니다. 또한 비정상적인 온도, 단락 및 기타 시스템 이상을 감지하는 모니터링 시스템이 내장되어 있습니다. DNS SKW-629-BV 장치는 광범위한 어플리케이션에 대해 정확하고 반복 가능한 리소그래피 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 이 제품은 손상이나 장애의 위험을 최소화하면서 높은 정확성을 보장하는 고급 (advanced) 기능으로 설계되었습니다. 나노 전자 장치, 집적 회로, MEMS 장치 및 센서와 같은 응용 분야에 적합합니다.