판매용 중고 DNS / DAINIPPON SK-W80B-AVPE #9300359

DNS/DAINIPPON SK-W80B-AVPE는 고정밀 AVP (Advanced Vacuum-Press System) 를 사용하는 단계적이고 반복 된 사진 분석 장비입니다. 이 장치는 전자 부품, 반도체 회로 패턴, 광학 부품 (정확도 10 및 20nm) 을 생산할 수 있으므로 고해상도 재료를 매우 정확하게 패턴화할 수 있습니다. 이 기계는 고정밀, 선형 모터 구동 5 축 선형 동작 스테이지 및 X-Y-Z-Z-I 메커니즘을 사용하여 패턴을 스캔 및 정렬하고, 더 정확한 노출 위치와 운동학적 정확성을 보장하며, 패턴 왜곡의 위험을 안정적으로 줄입니다. 공구에는 테이블탑 (Tabletop) 과 수동 웨이퍼 (Manual Wafer) 전송 스테이션 (Transfer Station) 이 장착되어 있으므로 웨이퍼를 스테이지에 정확하게 배치하고 노출 스테이션으로 이동할 수 있습니다. 자동 정렬 에셋도 사용할 수 있으며, 이를 통해 정확한 정렬 및 반복 가능한 반복 기능을 사용할 수 있습니다. 이 모델은 운영 프로세스 전반에 걸쳐 안정적이고 정확한 노출과 일관된 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 초소형 바늘형 (small needle-like) 기능을 포함하여 다양한 기하학적 기능에 대한 고해상도 (high-dynamic range), 고정밀도 (high-precision) 단계의 변형 가능한 미러 장비를 갖추고 있으며 배치 정확성과 균일 한 노출을 보장합니다. 또한, 시스템은 효과적인 빛 노출을 높이고 광학 격리를 개선 할 수있는 공기 간격 (air gap gap-filling) 기술을 지원할 수 있습니다. 이 장치는 평균 광대역 레이저 출력이 1.2W 인 레이저 다이오드 조명기, 고정밀도 진공 인쇄기, 이동 단계, XYZ 이동기, X-Y 광학 인코더 및 프로그래밍 가능한 노출 매개 변수를 포함하여 많은 통합 기능을 갖춘 컴팩트하고 고성능 광석기 기계입니다. 또한, 진동 방지 도구 (anti-vibration tool) 는 진동이없는 작동을 보장하기 위해 내장되어 있으며, 먼지 및 흙 밀봉 구조로 내장되어 있어 주변 먼지와 입자가 에셋에 들어가지 못합니다. DNS SK-W80B-AVPE는 고정밀 처리를 위해 설계된 견고하고 안정적인 광석기 모델입니다. 이 장비는 사용자 친화적 인 인터페이스와 photolithographic 프로세스를 단순화하기 위해 쉽게 설정할 수있는 매개변수를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 SEMI P-14 및 P-19 표준과 완벽하게 호환되므로 복잡한 고정밀 사진 해설을 위한 탁월한 선택입니다.