판매용 중고 DNS / DAINIPPON SK-W60A-BVP #9354122

ID: 9354122
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2004
Coater / Developer system, 6" 2004 vintage.
DNS/DAINIPPON SK-W60A-BVP는 고성능 다기능 포토 esist 장비입니다. 포토레시스트 (photoresist) 개발과 관련된 다양한 프로세스를 수행할 수 있는 다양한 구성 요소로 구성되어 있습니다. 이 시스템의 핵심에는 최첨단 광원이 있습니다. 이 장비에는 200 ~ 780nm의 파장 범위를 제공하는 2 개의 강력한 Xe 램프가 있으며, 이는 대부분의 포토 esist 프로세스에 이상적입니다. 또한, 2 개의 셔터 제어 시스템은 최대 10ms/스텝의 정밀도로 다양한 노출 제어 옵션을 제공합니다. 이 장치에는 또한 2 주파수 린싱 밸브 (Rinsing Valve) 가 있으며, 이 밸브는 음압 수준을 줄이고 꾸준한 저울림 압력을 유지하는 데 도움이됩니다. 이것 은 "포토레지스트 '물질 을 기판 에 정확 하게 적용 하는 한편, 기판 에 대한 잠재적 인 손상 을 최소화 하는 데 도움 이 된다. DNS SK-W60A-BVP는 또한 통합 핫 플레이트를 자랑하여 사용자가 처리하기 전에 기판을 미리 열 할 수 있습니다. 이것 은 "포토레지스트 '응용 프로그램 중 용매 증발 을 최소화 하는 데 도움 이 되며, 기판 위 에 에칭 된 회로" 패턴' 의 훌륭 한 복제 를 보장 해 준다. 가열판 (pre-heating plate) 과 함께, 이 포토 esist 머신에는 광범위한 처리 능력이 제공됩니다. 예를 들어, 사용자는 무제한의 장력 제어 (tension control) 를 통해 시트 장력과 처리 시간 사이의 최적의 균형을 달성할 수 있습니다. 이렇게 하면 처리량을 향상시키고 품질 결과를 확인할 수 있습니다. photoresist 도구는 또한 인라인 브레이크 뷰어 (in-line break-viewer) 및 현미경 (microscope) 을 특징으로하며, 인사이트 프로세스 모니터링에 사용하여 추가 처리 전에 photoresist 패턴의 품질을 평가할 수 있습니다. 통합 PC (Integrated PC) 와 결합된 이 기능을 사용하면 필요한 경우 처리 매개변수를 빠르게 수정할 수 있습니다. 결론적으로 DAINIPPON SK-W60A-BVP는 다양한 응용프로그램에 적합한 포토레지스트 자산입니다. 다양한 구성요소 (component) 를 갖추고 있어 품질 (quality) 을 보장하기 위해 다양한 프로세스를 수행할 수 있습니다. SK-W60A-BVP 는 고성능 (HPP) 와 결합된 이러한 기능을 통해 손쉽고 정확성을 갖춘 포토레시스트 (Photoresist) 처리를 완료하려는 사람들에게 최상의 선택이 됩니다.
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