판매용 중고 DNS / DAINIPPON SK-W60A-BVP #293811562

DNS / DAINIPPON SK-W60A-BVP
ID: 293811562
웨이퍼 크기: 6"
Coater / Developer system, 6".
DNS/DAINIPPON SK-W60A-BVP (BVP) 는 DNS가 전자 산업을 위해 설계하고 개발 한 최첨단 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 고급 패키징 (Advanced Packaging), 고차 리소그래피 (High-Order Lithography), 광학 마이크로패브레이션 (Optical Microfabrication) 등 최신 반도체 제작 프로세스의 가장 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. DNS SK-W60A-BVP 는 최고의 비용 효율성과 재현성을 제공하는 고성능 플랫폼입니다. DAINIPPON SK-W60A-BVP는 정밀한 미세 화학 균일성과 가스 및 산에 대한 강한 화학 내성을 특징으로합니다. 이것은 에칭, 증착 및 기타 미세 전자 공정 단계에서 일관성과 재생성을 보장합니다. 또한, SK-W60A-BVP는 펄스 제어 투약 기술 및 일괄 처리를 사용하여 포토 esist 형성 시간과 두께를 최적화합니다. 이로 인해 결함률이 낮아지면서 처리량이 증가합니다. 이 기계는 메인 프레임, 포토 마스터, 개발 및 에칭 챔버, 백사이드 노출 챔버 및 고급 소프트웨어 제품군으로 구성됩니다. 메인프레임에는 트리플 이온 바 (triple ion bar) 기술이 적용되어 모든 방향에서 동종 필드를 제공합니다. 자동 사진 래스터 (photo-raster) 와 기계의 해상도는 미크론 (micron) 이고 에칭 챔버 (etching chamber) 의 깊이는 최대 10äm입니다. 소프트웨어 제품군은 작업 스케줄링, 레시피 편집, 부품 형상, 사용되는 디지털 이미지와의 호환성 등을 제어하도록 설계되었습니다. 또한 BVP는 고급 교정 및 교정 기능으로 고품질 이미지 형성을 보장합니다. 이러한 기능을 사용하면 복잡한 광 마스크를 최소화하거나 제거하여 리소그래피 (lithography) 문제를 줄일 수 있습니다. 또한 한 좌표 단위에서 다른 좌표 단위로 패턴을 정확하게 전송하면서 고급 패턴 배율 응용 프로그램 (Advanced Pattern Scaling Application) 을 지원합니다. DNS/DAINIPPON SK-W60A-BVP는 주변 경보기와 같은 중요한 안전 기능도 제공합니다. 이것은 인간 또는 물질 오류의 위험을 최소화하면서 정밀 작동을 보장하는 데 도움이됩니다. 또한 DNS SK-W60A-BVP 는 대부분의 최신 업계 표준 컴퓨터와 직접 연결을 통해 운영 환경에 손쉽게 통합할 수 있습니다. 따라서 설치 요구 사항을 최소화하여 워크플로우를 개선하고 제어할 수 있습니다. 전반적으로 DAINIPPON SK-W60A-BVP는 뛰어난 성능과 생산성을 제공하도록 설계된 고급 포토레시스트 도구입니다. 사용자 친화적인 기능, 고도의 마이크로 제조 (micro-fabrication) 정밀도, 강력한 안전 기능을 통해 시장에서 가장 안정적이고 효율적인 시스템 중 하나입니다.
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