판매용 중고 DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPF #9354132
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ID: 9354132
웨이퍼 크기: 6"-8"
빈티지: 1997
(2) Coater / (2) Developer system, 6"-8"
Hot / Chill plates (7-25)
In-line
MICROBAR TrackMate chemical cabinet
Control rack
Interface
1997 vintage.
DNS/DAINIPPON SK-80BW-AVPF는 고급 차세대 리소그래피 프로세스를 위해 특별히 설계된 고성능 포토레지스트 장비입니다. 탁월한 프로세스 제어, 소형 (small) 기능 해상도 및 높은 성능을 제공하도록 설계되었습니다. DNS SK-80BW-AVPF 포토 esist 시스템은 여러 구성 요소로 구성됩니다. 첫째, 강력한 정확한 스핀 코터 (spin coater) 가 포함되어 있으며, 광범위한 기판과 웨이퍼 크기에 걸쳐 포토 esist의 균일 한 코팅을 달성 할 수 있습니다. 스핀 코터 (spin coater) 는 다양한 웨이퍼 크기와 코팅 매개변수를 효과적으로 지원하기 위해 최적화 된 디자인으로 제작되었습니다. 이를 통해 photoresist가 전체 기질에 균등하게 적용됩니다. DAINIPPON SK 80BW-AVPF에는 매우 정확하고 세밀하게 튜닝 된 베이크 스테이션도 포함되어 있으므로 포토 esist가 고르게 올바르게 구워집니다. 또한, 베이크 스테이션은 일반적으로 멀티 레이어 PEB (post-exposure bake) 로 구성되며, 이는 저항 코트의 불균일 성을 방지하고 결함 및 입자 코팅 위험을 줄입니다. 또한, SK 80BW-AVPF 장치에는 매우 정확한 리소그래피 노출 단계가 포함되어 있으며, 기판을 정확하게 정렬하고 가장 정확하고 정확한 노출 시간과 강도를 제공하도록 설계되었습니다. 이 노출 단계는 photoresist 레이어에서 작은 피쳐의 해상도를 최대화합니다. 마지막으로 DNS/DAINIPPON SK 80BW-AVPF에는 특수 개발 후 화학 공정 스테이션이 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 포토레시스트가 기판에서 제대로 개발되고, 제대로 제거되어 결함이 없으며, 균일한 레이어가 만들어집니다. 또한, 개발 후 프로세스는 오염 및 가스를 유발할 수있는 원치 않는 잔기를 제거합니다. 전반적으로 DAINIPPON SK-80BW-AVPF는 뛰어난 프로세스 제어, 소형 기능 해상도, 고도의 성능을 제공하도록 설계된 고급 포토레시스트 머신입니다. 고급, 차세대 리소그래피 (lithography) 프로세스에 사용하는 이상적인 도구이며, 최고 품질의 포토레지스트 (photoresist) 레이어를 얻을 수 있습니다.
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