판매용 중고 DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPE #9298993

DNS/DAINIPPON SK-80BW-AVPE는 DNS Screen이 개발 한 DUV (Deep-자외선) 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 반도체 업계의 기술 기반 응용프로그램에 필요한 생산성, 안정성, 정확성을 통합하여 높은 수준의 성능을 유지합니다 (영문). DNS SK-80BW-AVPE는 AVPE (Automated Vision-based Pre-Exposure) 검사 장치를 사용하여 리소그래피 프로세스 전에 정확한 웨이퍼 정렬을 보장합니다. 이 기계는 TTL 레이저 다이오드 기술을 사용하여 가장자리 및 센터 정렬, 스틸 메쉬 결함 검사를 감지합니다. 또한, 동력 광학 줌 (optical zoom) 은 웨이퍼 크기와 중앙 정렬을 동시에 정확하게 조정하는 기능을 제공합니다. 검사는 500/초의 픽셀 속도로 수행되며, 이는 75mm x 75mm 범위의 최소 미세 구조를 감지 할 수있는 기능입니다. DAINIPPON SK 80BW AVPE는 300-340nm의 파장 범위에서 최대 용량이 4mJ/cm2인 DUV 조명의 최적의 용량을 제공하는 온보드 DUV 조명기를 갖추고 있습니다. 이 도구는 또한 Photoresist 레시피와 노출 매개변수를 쉽게 구성 할 수있는 Photochemical Automation Asset (PAS) 을 특징으로합니다. PAS 는 또한 최대 99 개의 레시피 (레시피) 를 저장할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 단일 프로세스에서 서로 다른 레시피 (레시피) 사이를 전환할 수 있습니다. SK-80BW-AVPE의 혁신적인 설계에는 내부 온도 조절 (temperature control) 모델도 포함되어 있어 외부 냉각기가 필요하지 않으며 안정적이고 반복 가능한 포토레지스트 성능을 제공합니다. 염소 이산화루프 흐름 장비는 개선 된 안전 측정 및 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 또한, 시스템은 정확성과 생산성을 향상시키는 여러 가지 추가 기능을 제공합니다. 여기에는 자동 도저, 프로그래밍 가능한 노출, 2 단계 자동 혼합 에칭 및 다중 안정 액체 냉각 조명기가 포함됩니다. 전반적으로 DNS/DAINIPPON SK 80BW AVPE 장치는 높은 수준의 정밀도와 정확성이 필요한 어플리케이션을 위해 안정적이고 비용 효율적인 포토리스 (photoresist) 솔루션을 제공합니다. 고성능 기능 집합 (set) 과 종합적인 안전 측정 (safety measure) 을 통해 최신 마이크로패브라이션 프로세스에 이상적인 선택이 가능합니다.