판매용 중고 DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPE #9298992

DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPE
ID: 9298992
웨이퍼 크기: 6"
Coater / Developer system, 6".
DNS/DAINIPPON SK-80BW-AVPE는 반도체 산업의 주요 기업인 고성능 포토레지스트 장비입니다. 뛰어난 웨이퍼 (wafer) 프로파일 품질과 수동 조정이 필요 없는 60nm 기능을 해결할 수 있습니다. 그것 은 "포토레시스트 '" 코우팅' 에서 가장 높은 처리량 을 제공 하도록 설계 되었으며, 전통적 인 방법 을 대단 히 개선 시켜 준다. 시스템의 핵심에는 매우 강력한 클램핑 유닛과 결합 된 스테퍼 호환 500mm 원형 스피너 (stepper compatible 500mm circular spinner) 가 있습니다. 이 "디자인 '은" 웨이퍼' 를 매우 내구성 있게 옮기는 한편, 이동 중 에 매우 취약 한 사진술사 "코우팅 '을 보호 해 준다. 이 기계는 초미세 처리를 위해 고성능, 정밀 서보 모터를 사용하며, 입자 오염을 줄이기 위해 노즐 청소 도구와 함께 스피너 (spinner) 디자인을 사용합니다. SC-80BW-AVPE 에셋은 또한 환경 진공 및 제어를 위한 고성능 공기 배기 (air exhaust) 를 갖추고 있으며, 미세한 입자를 제거하고 우수한 웨이퍼 프로파일 품질을 보장합니다. 이 모델은 스마트 모니터/제어 장비와 함께 최신 포토레시스트 (photoresist) 응용 프로그램 기술을 사용하여 빠르고 신뢰할 수 있습니다. 이 시스템은 정밀 열 센서를 사용하여 유체 온도를 제어하기위한 고유 한 단위를 포함합니다. 이 기계는 자외선 (자외선) 에 노출 될 때 최대 정확도와 준수를 달성하기 위해 감광제가 이상적인 온도 범위에 적용되도록 합니다. 이 도구는 또한 정확한 레이저 위치 검출 (laser position detection) 을 특징으로하여 자산의 정확도를 더욱 향상시켜 전체 웨이퍼 표면에서 포토 esist의 균일 한 코트를 보장합니다. 전반적으로 DNS SK-80BW-AVPE는 놀라운 정확도로 매우 작은 기능을 해결할 수있는 고성능, 차세대 포토레지스트 모델입니다. 유체 온도, 공기 배기, "레이저 '위치 탐지 를 조절 하기 위한 고급" 시스템' 이 갖추어져 있어 "웨이퍼 '표면 에 완전 히 고정 되어 있는 균일 한" 코우팅' 을 제공 한다. 이 장비는 반도체 업계에서 큰 장점이며, 수동 조정이 최소한으로 필요한 포토 esist 코팅 (photoresist coating) 표준을 설정합니다.
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