판매용 중고 DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPE #293807995
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DNS/DAINIPPON SK-80BW-AVPE는 반도체 장치 패턴화를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 장치 제조 비용을 크게 줄이기 위해 차세대 드라이 에칭 툴로 개발되었습니다. 그 과정 에서, 광저항 물질 은 전자 나 "광자 '의 광선 에 노출 되고, 그" 패턴' 은 저항성 물질 에서 개발 되어, 재료 의 "패턴 '을 만들어 낸다. DNS SK-80BW-AVPE 시스템은 photoresist 응용 프로그램 모듈과 etch 프로세스 모듈의 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. photoresist 응용 프로그램 모듈에는 photoresist emulsion과 application arm의 두 가지 주요 구성 요소가 포함됩니다. photoresist 유화액은 응용 프로그램 암에 의해 장치 표면 위에 퍼져 있습니다. 에치 프로세스 모듈은 두 가지 주요 구성 요소 (에치 챔버 및 에치 전극) 로 구성됩니다. 에치 챔버 (etch chamber) 는 장치 표면에 높은 전압을 적용하여 플라즈마 (plasma) 를 형성하고 저항 물질과 반응하여 패턴을 생성합니다. DAINIPPON SK 80BW AVPE는 기존의 에칭 프로세스에 비해 몇 가지 장점을 제공합니다. 예를 들어, 재료 증착 깊이가 크게 감소하고, 처리 시간이 단축되고, 패턴 품질이 향상되며, 비용이 크게 절감됩니다. 또한, 이 장치에는 자동 강화 프로토콜 (Automatement Abatement Protocol) 및 에칭 프로세스를위한 비상 차단 (Emergency Shoffs) 과 같은 통합 안전 기능이 장착되어 있습니다. 또한, 이 기계는 매우 정확하게 설계되었으며, 장치 제조 비용을 줄일 수 있는 용량이 많습니다. 마지막으로, 이 도구는 50nm 이하의 기능 크기와 100nm 이하의 기능 크기를 모두 사용할 수 있으므로, 디바이스의 복잡성을 높이고 성능을 향상시킬 수 있습니다. DNS SK 80BW AVPE는 광범위한 반도체 장치 어플리케이션을 위한 다용도, 효과적인 솔루션입니다. 상당한 비용 절감, 성능 향상, 안전성 및 정확성을 제공합니다.
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