판매용 중고 DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPE #293648719
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ID: 293648719
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2012
Coater / Developer system, 6"
(2) Chemical cabinets
Environment control unit
Pump rack
Controller
2012 vintage.
DNS/DAINIPPON SK-80BW-AVPE는 새롭고 고도의 석판 영상 방법을 사용하여 반도체 기판에 미세하고 상세한 패턴을 생성하는 포토 esist 장비입니다. 이 기법 은 여러 가지 "응용프로그램 '에 사용 되는 더 작고 더 빠른" 디바이스' 를 만드는 데 사용 되면서 "반도체 '제조 산업 에서 점점 더 중요 해지고 있다. DNS SK-80BW-AVPE 시스템의 핵심에는 고 에너지 전자 소스로 구동되는 광원이 있습니다. 이것 은 감광 "코우팅 '이나 매질 에" 패턴' 을 적는 데 사용 되는 빛 을 만들어 낸다. 감광 코팅에는 저에너지, 고정밀 광원이 필요하며 DAINIPPON SK 80BW AVPE 장치가 재생되는 곳입니다. 그것 은 자외선 에 민감 한 매질 을 사용 하며, 광원 은 "코우팅 '을 정확 하게 비출 수 있어, 정확도 가 높은" 패턴' 을 만들 수 있다. 광원 및 감광 코팅 (photosensitive coating) 을 결합하여 패턴 화 된 웨이퍼를 생성하고, 이어서 저항 용액에 노출된다. 이 용액은 국소화 된 화학 반응 (Localized chemical reaction) 을 만드는 데 사용되며, 이를 사용하여 원하는 패턴을 기판으로 가져올 수 있습니다. "에칭 '과정 은 매우 정밀도 와 정확도 가 높아서" 패턴' 을 몇 "나노미터 '두께 까지 만들어 낼 수 있게 한다. 기판이 원하는 모양으로 에칭 된 후, 유전체 증착, 금속 증착, 평면 화 (planarization) 및 기타 반도체 칩 제조 단계와 같은 추가 공정에 대한 준비가되어 있습니다. DAINIPPON SK-80BW-AVPE는 최고 수준의 정밀도, 정확도로 작동하도록 설계되어 있어, 최첨단 반도체 칩에 적합합니다. SK 80BW AVPE 머신은 고정밀 광원· 감광식 코팅 모티프를 활용해 현존하는 반도체 (반도체) 패턴 중 가장 복잡하고 상세한 것을 만들 수 있다. 이 때문 에 세계 에서 가장 큰 많은 "반도체 칩 '생산자 들 에게 수요 가 선택 된다.
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