판매용 중고 DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVP #9120616

ID: 9120616
빈티지: 1996
Coater system 1996 vintage.
DNS/DAINIPPON SK-80BW-AVP는 주로 반도체 장치의 소형화 된 구성 요소 제조에 사용되는 고정밀 리소그래피를 위해 설계된 고급 포토 esist (PR) 장비입니다. 이 다목적 시스템은 통합 된 소프트웨어 및 하드웨어 솔루션을 사용하여 기판에 광감수성 화학 혼합물을 정확하게 적용하여 미리 정의 된 패턴 (pattern) 을 만듭니다. 그 후 복잡한 마이크로 일렉트로닉 컴포넌트 (microelectronic component) 의 제작에 사용됩니다. 이 장치는 일련의 고도로 정교한 전자 및 광학 요소를 사용하여 제어, 균일 한 방식으로 PR (PR) 을 정확하게 측정, 제어 및 적용합니다. 첫째, 기판의 재료를 감지하고 PR 패턴 배치를 등록하기 위해 고급 비전 (advanced vision) 과 포지셔닝 머신 (positioning machine) 이 사용됩니다. 그런 다음, 정확하게 교정 된 자외선 광원 및 광학 마스크를 사용하여 기판을 자외선 (UV light) 으로 선택적으로 조사하여 PR 설정 과정을 시작합니다. 마지막으로, 석판화 소프트웨어 도구 (lithography software tool) 를 사용하여 PR 재료의 다양한 두께를 조정하고 패턴을 최대한의 해상도로 최적화합니다. 이러한 하드웨어 및 소프트웨어 솔루션의 조합으로 DNS SK-80BW-AVP는 매우 정확한 PR 패턴과, 균일한 특성과 세부적인 기능을 갖춘 구성 요소를 만들 수 있습니다. 이 높은 정밀도와 정확도는 자산의 고급 클로즈드 루프 레이저 (closed-loop) 레이저 피드백 (feedback) 모델을 통해 더욱 향상되었으며, 이는 조사 과정에서 PR 패턴의 편차를 감지하고 즉시 수정하여 리소그래피 프로세스를 일관되고 정확하게 유지할 수 있습니다. 요컨대, DAINIPPON SK-80BW-AVP는 고급 PR 장비로, 정밀도가 높은 석판화 및 균일 한 특성을 가진 세밀한 구성 요소의 생산이 가능합니다. 이 시스템은 통합 소프트웨어/하드웨어 솔루션과 고급 클로즈드 루프 (closed-loop) 레이저 피드백 (feedback) 장치를 제공하여 안정적이고 정확한 결과를 제공합니다. 기계 의 다양성 과 정밀성 은 복잡 한 "마이크로일렉트로닉 '성분 을 만들려고 하는 사람 들 에게 이상적 인 선택 이 된다.
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