판매용 중고 DNS / DAINIPPON SK-80B #293609331

DNS / DAINIPPON SK-80B
ID: 293609331
웨이퍼 크기: 8"
(2) Coater / (3) Developer, 8".
DNS/DAINIPPON SK-80B는 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 특수 포토 esist 장비입니다. photoresist는 회로 패턴을 실리콘 웨이퍼로 옮기는 데 사용되는 사진 민감성 코팅입니다. DNS SK-80B는 포토 esist 코팅을 웨이퍼에 적용하고 추가 처리를 위해 처리하는 데 사용됩니다. DAINIPPON SK 80B는 최대 0.2um 두께의 정밀도로 웨이퍼를 코팅하는 특수 증기 코팅 챔버로 제작되었습니다. wafers 또는 개별 구성 요소에 균일 한 코팅을 제공하는 CVD (Chemical Vapor Deposition) 챔버의 고급 시스템으로 구성됩니다. CVD 챔버에는 포토레스 필름 (photoresist film) 의 크기, 모양 및 품질을 최적화하는 여러 가지 특수 모듈이 계층화되어 있습니다. 코팅 프로세스 후 DNS/DAINIPPON SK 80B 장치에는 웨이퍼 또는 개별 구성 요소에 전달되는 자외선 용량을 조정할 수있는 정밀 LEM (Light Exposure Machine) 도 포함됩니다. SK 80B는 또한 노출된 저항 패턴을 보존하면서 포토리스 스트 필름을 선택적으로 제거하는 2 단계 개발 프로세스를 사용합니다. 1 차 개발 단계 (primary development stage) 는 노출 된 표면에서 포토 esist를 용해시키는 반면, 2 차 단계는 노출되지 않은 표면에서 나머지 저항을 부드럽고 정확하게 제거합니다. 이 프로세스는 각 애플리케이션에 대해 신중하게 모니터링, 조정되므로 운영 프로세스의 각 단계에서 최적의 결과를 얻을 수 있습니다 (영문). DAINIPPON SK-80B는 반도체 산업의 photoresist 응용 분야에 효과적이고 신뢰할 수있는 기계입니다. 정밀 증기 코팅 툴 (vapor coating tool) 과 2 단계 개발 프로세스는 모든 응용 프로그램에서 균등하고 정확한 결과를 보장하며, 최종 제품이 최고 품질을 갖습니다. 안정적이고 정확한 성능을 갖춘 DNS SK 80B는 모든 반도체 개발 프로세스가 잠재력에 도달하도록 도울 수 있습니다.
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