판매용 중고 DNS / DAINIPPON SK-60A-BVP #195914

DNS/DAINIPPON SK-60A-BVP 포토 esist 장비는 대용량 처리 기능을 위해 설계된 고급 석판 시스템입니다. 이 도구는 쿼츠 (quartz), 실리콘 (silicon), 유리 (glass) 와 같은 다양한 기판을 처리 할 수있는 단일 웨이퍼 도구입니다. 이 장치는 고도로 정교한 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 프로세스와 이중 노출 기술을 사용합니다. 이중 노출 (double-exposure) 방법을 사용하면 서로 다른 각도로 두 개의 다른 photoresist 레이어를 동시에 노출 할 수 있습니다. 이로 인해 효율성이 향상되고 에치 특성이 균일해집니다. DNS SK-60A-BVP는 자기 부양 스피너 및 자동 로더를 사용하여 기판 제어를 개선합니다. 고성능 100kHz 레이저 빔을 사용하여 이미징 및 작문의 정확도를 높입니다. 이 기계는 최대 광자 노출 에너지 (최대 600W) 의 다양한 고급 이미징 광학을 사용합니다. 그 약실 은 압력 이 없는 환경 을 이용 하며, 약실 과 기판 을 냉각 하는 데 는 별도 의 도구 를 사용 한다. DAINIPPON SK-60A-BVP는 가변 프로그래밍 가능한 셔터 최적화를 통해 정확한 에치 패턴 및 처리량 증가를 허용합니다. 또한 접촉 및 비접촉 구멍 패턴, 코너 리소그래피, 노출 수정 등 다양한 기능을 생성 할 수 있습니다. 에셋은 또한 고급 핫스팟 탐지 모델 (Advanced Hotspot Detection Model) 을 특징으로하여 포토리스트 (photoresist) 의 결함 영역을 탐지하여 더 많은 수율과 적은 결함을 가능하게합니다. 또한, 장비에는 고급 서보 제어 시스템 (Advanced Servo Control System) 이 장착되어 다중 노출 프로세스에 비해 정확도가 향상되었으며 복잡한 형상을 구현할 수 있습니다. SK-60A-BVP는 직관적인 GUI 및 사용하기 쉬운 소프트웨어를 갖춘 사용자 친화적인 장치입니다. 안전 기능이 내장되어 있어 인력과 장비를 안전하게 보호할 수 있습니다. 반도체, 의료 기기, 인쇄 회로 기판, MEMS 기술 등 다양한 산업에 이상적인 솔루션입니다. 고속, 정밀도, 정확성이 있어 대용량 애플리케이션에 적합합니다.