판매용 중고 DNS / DAINIPPON SK-200W #9253733

DNS / DAINIPPON SK-200W
ID: 9253733
웨이퍼 크기: 8"
Coater / Developer system, 8" Coater and developer module I/O Module with (4) carriers Cool and hotplates HH Plate: up to 350°C (4) Photoresist pumps (2) Developer lines.
DNS/DAINIPPON SK-200W는 반도체 웨이퍼 제조에서 공정 효율성과 균일성을 높이기 위해 설계된 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 시스템은 주로 반도체 생산 환경에서 사진 저항 필름의 스핀 코팅 (spin coating) 및 베이킹 (baking) 에 사용됩니다. DNS SK-200W는 강력한 회전 스프레이 헤드를 사용하여 얇은 포토 esist 재료 층으로 웨이퍼를 균등하게 코팅합니다. 스핀 코팅 후, 웨이퍼는 경화를 위해 고온 적외선 오븐에 배치됩니다. 오븐에는 필름이 먼지가 없는지 확인하기 위해 특수 자외선 (UV) 램프 클리닝 스테이션이 포함됩니다. DAINIPPON SK 200W는 독특한 세라믹 히터 기술을 사용하여 회전 및 베이킹 프로세스 전반에 걸쳐 균일 한 난방 및 정확한 온도 조절을 보장합니다. 오븐의 온도 범위는 100 ° C - 250 ° C이며 내성은 ± 2 ° C입니다. 또한 DNS/DAINIPPON SK 200W에는 회전 및 베이킹 과정에서 오염 수준을 자동으로 모니터링하는 제어 장치가 있습니다. 이 기계는 연산자가 사진 저항 필름을 언제 교체해야하는지 판별할 수 있습니다. DAINIPPON SK-200W는 사용하기 쉽고 최소한의 유지 보수가 필요합니다. 직관적인 메뉴와 현재 작동 상태를 시각적으로 나타내는 컬러 터치스크린 LCD (Color Touchscreen LCD) 디스플레이가 장착되어 있습니다. 또한 SK 200W 는 자동 보정 기능을 제공하며, 다양한 데이터 로깅 기능을 통해 현장 분석을 용이하게 합니다. 전반적으로, SK-200W는 반도체 산업을위한 강력하고 신뢰성이 높은 포토레시스트 도구입니다. 첨단 기술 (Advanced Technology) 을 활용하여 효율성을 극대화하고 전체 프로세스 전반에 걸쳐 균일성을 제공합니다. 사용자 친화적인 터치스크린 인터페이스와 자동화된 교정 (calibration) 및 오염 감지 (contamination detection) 기능을 통해 생산의 효율성을 높이고 최적의 결과를 얻을 수 있습니다.
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