판매용 중고 DNS / DAINIPPON SK-200W-BVPE #9165403
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ID: 9165403
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1997
(3) Coaters / (3) Developers system, 8"
i-Line photo track
1997 vintage.
DNS/DAINIPPON SK-200W-BVPE 포토 esist 장비는 마이크로 가공을위한 고성능, 고정밀 리소그래피 및 에칭 도구입니다. 특히 집적 회로 (IC) 및 기타 소규모의 장치 제조에 사용하기 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 다양한 기능을 갖추고 있어 현대 IC (modern IC) 제조에 매력적인 선택입니다. DNS SK-200W-BVPE 장치는 고강도 UV 경전망기, 자동 스프레이 모듈, 자동 습식 테이블 스프레이 유닛 및 마이크로 컨트롤러 기반 제어판으로 구성됩니다. 투영 도구 (Projection Tool) 는 컴퓨터에서 생성된 UV 패턴을 기판에 투사하여 업계 표준 피쳐 크기로 정확한 장치 패턴을 제공합니다. 스프레이 (Spray) 모듈은 컴퓨터로 제어되며 노즐 크기와 스프레이 압력 (Spray Pressure) 을 선택하여 다양한 노출된 레이어 두께를 만들 수있는 유연성을 제공합니다. 습식 스프레이 (wet-table spray) 장치는 단량체와 다른 화학 물질의 정확하게 제어 된 적용을 통해 다른 photoresist 층을 생성 할 수있다. DAINIPPON SK-200W-BVPE는 또한 최첨단 마이크로 컨트롤러 자산을 갖추고 있으며, 이는 사용자가 미리 정한 UV 노출 시간, 압력 수준, 스프레이 속도 및 노출 영역 크기를 제공합니다. 이를 통해 장치의 정확한 패턴화를 통해 리드 타임 (lead time) 이 짧아지고 수율이 높아집니다. 이 모델은 또한 여러 레이어에 대해 조정 가능한 초점 설정을 제공하며, 가장자리를 매끄럽게 하기 위해 고급 앤티앨리어싱 (anti-aliasing) 알고리즘을 제공합니다. SK-200W-BVPE 는 모든 온도 범위, 습도 수준에서 작동할 수 있어, 다양한 제조 환경에 적합합니다. 또한 고급 온도 조절 장치 (Temperature Control Equipment) 를 통해 승화율 향상, 수율 향상, 처리량 증가가 가능합니다. 또한, 이 시스템은 빠른 응답 시간을 제공하여 더 빠른 주기, 낮은 설정 시간을 제공합니다. 전반적으로 DNS/DAINIPPON SK-200W-BVPE 장치는 매우 작은 규모의 현대 IC 및 기타 장치 제조에 사용할 수있는 고정밀 석판화 및 에칭 기능을 제공하는 매우 강력한 포토 esist 기계입니다. 사용자 정의 UV 노출 시간, 조정 가능한 초점 수준, 고급 앤티앨리어싱 (anti-aliasing) 알고리즘에 이르기까지 모든 IC 제조업체의 요구를 충족하는 다양한 기능을 제공합니다. 이것은 현대 IC 제작 프로세스에 매력적인 선택입니다.
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