판매용 중고 DNS / DAINIPPON SK-200 #9256669

ID: 9256669
Coater / Developer track system.
DNS/DAINIPPON SK-200 포토레지스트 (photoresist) 장비는 포토마스크 및 웨이퍼 제작 시장에 사용하도록 설계된 고성능 이미징 시스템입니다. 중화 된 순수 기하학적 빔 전달 머신과 포토 esist 코팅을위한 증기 증착 방법을 결합한 2 단계 이미지 전송 장치 (image transfer unit) 입니다. DNS SK-200 의 이미지 전달 도구 (Image Delivery Tool) 는 마스크 패턴의 원래 기하학적 모양을 왜곡없이 웨이퍼에 즉시 전달하기 위해 중화되는 강렬한 UV 광선 빔을 사용합니다. 빔 전달 에셋은 또한 필드 내 (intra-field) 및 필드 간 제어 (inter-field control) 방법을 사용하여 마스크 패턴 크기에 관계없이 균일한 이미지 품질을 달성합니다. 증기 증착 방법 (vapor deposition method) 은 과잉 또는 과소 노출없이 웨이퍼 표면에서 포토 esist의 균일 한 코팅을 가능하게한다. 이것은 복잡한 패턴 설계에도 불구하고 전체 웨이퍼 표면에 일관된 포토리스 연주자 코팅 (photoresist coating) 을 제공합니다. 그 후, 포토 esist 코팅 된 웨이퍼는 고강도 UV 레이저 빔에 노출되고 웨이퍼 전체에 균일 한 노출 깊이가 달성된다. DAINIPPON SK-200은 최고 품질의 이미지에 대한 서브 미크론 패턴 정밀 해상도를 달성 할 수 있으며, 다중 레이어 및 포토 마스크 (photomask) 를 포함한 모든 기판에 적합합니다. 웨이퍼 (wafer) 의 크기는 2 "~ 12" 이며 실험실에서 생산 설정까지 다양한 환경에서 사용하도록 설계되었습니다. SK-200은 포토 마스크 및 웨이퍼 제작을위한 훌륭한 이미징 모델입니다. 중화 빔 전달 (neutralized beam delivery) 과 증기 증착 (vapor deposition) 코팅의 조합은 균일 한 이미지 품질과 정확한 해상도를 보장합니다. 이 제품은 실험실과 프로덕션 어플리케이션 모두에 적합하며, 자동화 및 처리량 극대화를 위해 설계되어 있습니다 (영문).
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