판매용 중고 DNS / DAINIPPON SD-W80A-AVQ #9373065
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DNS/DAINIPPON SD-W80A-AVQ는 리소그래피 패턴화를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 157nm DUV (deep ultraviolet) 레이저로 구성된 포토 마스크 (photomask) 를위한 풀 필드 정렬 시스템으로, 여러 수준의 유전체 및 전도성 층을 패턴화할 수 있습니다. 스테퍼 모터 (stepper motor) 기술을 사용하여 임계 정렬 및 노출에서 높은 정확성과 정확도를 달성합니다. 이 장치는 고급 레이저 스캐닝 머신, 노출 초점 서보 제어 도구, 진공 척 (vacuum chuck), 대형 해상도 포토 마스크 (photomask) 와 같은 뛰어난 품질과 고급 기능을 제공합니다. 자산은 Quartz/glass, silver, oxide 및 ITO 레이어와 같은 다양한 패턴을 생성 할 수 있습니다. 짧은 파장 157nm DUV 광원을 사용하여 포토 마스크를 웨이퍼에 직접 노출시킵니다. 이 짧은 파장은 더 복잡한 마스크 패턴을 생산하기 위해 더 높은 해상도의 기판을 제공합니다. 모델에는 노출 중 포토 마스크를 유지하는 진공 척이 있습니다. 스텝 모터 (stepper motor) 기술을 사용하여 축에 있는 포토 마스크 (photomask) 를 정확하게 정렬하고 노출을 위해 정확하게 배치합니다. 이 기술은 각 웨이퍼 (wafer) 에 여러 레벨의 패턴을 정확하게 배치할 수 있도록 도와 주며, 생산 환경에서 생산되는 패턴과 비슷한 리소그래피 (lithography) 패턴을 만듭니다. 이 장비는 또한 뛰어난 이미지 충실성과 반복 성을 제공합니다. 이것은 정교한 노출 제어 시스템 (Exposure Control System) 과 포커스 서보 (Focus Servo) 를 사용하여 노출이 여러 노출에서 균일하고 반복 가능하도록 지원합니다. DNS SD W80A AVQ는 안정적이고 강력한 포토레지스트 (photoresist) 유닛으로, 더 큰 충실도와 반복성으로 여러 수준의 리소그래피 패턴을 만들 수있는 뛰어난 정확성과 정밀도를 제공합니다. 반도체 패턴 및 고급 RSFV 리소그래피에서 고급 리소그래피 응용 분야에 적합합니다.
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