판매용 중고 DNS / DAINIPPON SD-W80A-AVQ #9278103

DNS / DAINIPPON SD-W80A-AVQ
ID: 9278103
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1996
Polyimide developer system, 8" 1996 vintage.
DNS/DAINIPPON SD-W80A-AVQ 포토 esist 장비는 다양한 유형의 박막 코팅을 다양한 재료로 처리하는 데 사용되는 매우 지능적인 컴퓨터 제어 기계입니다. 박막 저항기, 반도체 트랜지스터, 심지어 일부 고급 유기 광자극을 포함한 다양한 비 균일 코팅 (non-uniform coating) 을 생성 할 수 있습니다. 이 "시스템 '은 정확 하고 자동화 된" 컨트롤' 장치 를 사용 하여 "코우팅 '을 기판 의 표면 에 정확 하게 에칭 하여 전체 에 균일 한 두께 를 갖게 한다. DNS SD W80A AVQ 는 미리 프로그래밍된 코팅 프로세스를 정확하게 제어할 수 있도록 Windows 기반 소프트웨어 프로그램에 의해 구동됩니다. 여기에는 코팅 (coating) 의 품질 측정 및 점검을 위한 대화식 그래프 (interactive graph), 모든 매개변수와 작업을 추적하는 데이터베이스 (database), 고해상도 처리 (high-resolution processing) 와 같은 여러 기능이 포함됩니다. 기계 에는 고급 "코우팅 '도구 가 장착 되어 있는데, 이 도구 는" 코우팅' 을 정확 히 제어 하기 위한 광학 측정 자산 을 갖추고 있다. 이 모델은 비전 장비, 레이저 다이오드, 광학 필터 및 디지털 이미징으로 구성됩니다. 압전 요소는 필름 두께를 정확하게 측정하는 데 사용됩니다. 또한 사용자는 코팅 (coating) 프로세스를 프로그래밍할 수 있으며, 작업을 보다 효과적으로 제어할 수 있는 몇 가지 시각화 (visualization) 도구를 제공합니다. DAINIPPON SDW-80A-AVQ에는 기판에 대한 코팅의 균일성을 향상시키기 위해 설계된 고압, 가스 보조 저항 코팅 장치도 포함됩니다. 이 기계는 가스 구동 인젝터 (gas-driven injector) 를 사용하여 기판에 얇은 부착 광물질 층을 적용합니다. 적외선 센서는 코팅의 두께를 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 또한이 도구에는 플라즈마 청소 자산이 포함되어 있습니다. 이 모델은 저압 플라즈마를 사용하여 포토 esist를 적용하기 전에 서피스를 청소합니다. 이것 은 "코우팅 '과정 이 있기 전 에 기판 의 표면 에 있는 모든 오염 을 제거 한다. 동일한 플라즈마 장비가 매우 효과적인 포스트 프로세싱에 사용됩니다. SD-W80A-AVQphotoresist 시스템은 고도의 정확하고 정확한 기계로, 다양한 표면에서 신뢰할 수 있고 균일 한 코팅을 생성 할 수 있습니다. 자동화된 제어 기능, 사용자 프로그래밍 가능한 소프트웨어 (user-programmable software) 및 정밀 이미징 시스템 (precision imaging systems) 의 조합으로 인하여 박막 코팅 생산에 좋은 선택이되었습니다. 가스 보조 저항 코팅 유닛과 결합 된 매우 정확한 측정값은 안정적이고 고품질 결과를 보장합니다 (영문).
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