판매용 중고 DNS / DAINIPPON SD-W80A-AVQ #9227388

DNS/DAINIPPON SD-W80A-AVQ 포토 esist 시스템은 광 esist 물질을 결정 웨이퍼 및 기타 기질에 고정밀도로 노출시키기 위해 설계되었습니다. 이미징 및 포커싱을위한 고사양 옵틱과 결합 된 강력한 UVA 소스가 장착되어 있습니다. 8 인치 직경의 이진 원격 중심 광학 (Telecentric Optics) 은 수차를 제거하여 넓은 지역에서도 완벽한 결과를 얻을 수 있도록 설계되었습니다. UVA 소스는 넓은 밴드 패스와 피크 강도 640nm (최대 12um photoresist linwidth) 에 적합합니다. 또한 DNS SD W80A AVQ 는 최대 250 개의 다른 패턴을 스캔 및 저장할 수 있는 대규모 단계를 갖추고 있습니다. 다양한 패턴을 가진 여러 기판의 고속 노출을 가능하게합니다. DAINIPPON SDW-80A-AVQ에는 매우 정확한 노출 조건을 보장하는 고급 피드백 제어 시스템도 장착되어 있습니다. 기판 속도와 뒤틀린 기판을 감지 할 수 있으며, 포토리스 (photoresist) 결함을 피하고 해상도를 향상시키기 위해 빠른 피드백 (feedback) 교정이 가능합니다. 또한이 시스템에는 수증기의 영향을 줄이기 위해 통합 건조 가스 인클로저 (dry gas enclosure) 가 있습니다. 노출 조건에 따라 배기 (exhaust) 규제의 강도를 조정하여 최적화된 작동을 허용합니다. DNS SD-W80A-AVQ는 또한 넓은 온도 범위를 가지고 있으며, 정적 축적을 제거하기위한 핫 필터링 된 공기 송풍기를 포함합니다. 전반적으로 DNS/DAINIPPON SD W80A AVQ 포토 esist 시스템은 강력한 UVA 소스와 고해상도 및 복잡한 패턴을 달성하기위한 고정밀 옵틱을 갖춘 고급 장비입니다. 그것은 다양한 기질에서 복잡하게 패턴 화 된 photoresist 물질을 생산하는 데 이상적입니다. 정밀 제어 시스템 및 통합 드라이 가스 인클로저 (dry gas enclosure) 는 넓은 지역에서도 완벽한 결과를 제공합니다.