판매용 중고 DNS / DAINIPPON SD-W80A-AVP #293714049

DNS Screen DNS/DAINIPPON SD-W80A-AVP는 매우 복잡한 접촉 및 금속 필름 생성을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 특화된 노출 및 화학 기술 (Specialized Exposure and Chemistry Technology) 을 사용하여 포토 esist를 웨이퍼에 적용하여 접촉 피쳐나 뛰어난 정밀도 및 신뢰성을 가진 구리 금속화 패턴을 형성합니다. 이 시스템은 최적화 된 광학 이미징을 위해 DUV (Deep-자외선) 리소그래피를 사용하며 해상도를 0.15m까지 낮출 수 있습니다. 다른 공정의 구현을 위해 다양한 저항과 화학 화학 물질의 최대 125 개의 레시피 (레시피) 를 저장 할 수 있으며, 이를 통해 복잡한 피쳐의 생산을위한 장치의 작업 매개변수를 최적화 할 수 있습니다. DNS SDW-80A-AVP에는 고급 정렬 장치 (Advanced Alignment Machine) 도 장착되어 있는데, 이 기계는 포토 마스크 및 웨이퍼의 안정적이고 정확한 정렬을 보장하기 위해 저배율 광학 현미경을 사용합니다. 교차 패턴 (intersection pattern) 을 형성하는 동안 피쳐 내에서 또는 두 선 사이에서 접촉 정렬을 모니터링할 수도 있습니다. 안전성을 강화하기 위해 이 도구는 안전 차단 안전 자산 (Safety Asset) 을 가지고 있으며, 웨이퍼 (Wafer to Light) 의 과도한 노출로 인한 손상을 방지합니다. 포토리스 (photoresist) 모델의 설계에는 최소한의 유지 관리 및 안정적인 작동을 보장하는 몇 가지 기능이 포함되어 있습니다. 토너 플레이트 클리너 (Toner Plate cleaner) 는 브러시리스 (brushless) 모터 구동 디스크로 구성되어 있으며, 회전판을 자동으로 청소하고, 토너 액체를 교환하여 청소 화학의 순도를 엄격하게 제어합니다. 시스템의 창 유리는 ACF (Advanced Coating Film) 필터와 통합되어 선명한 입자가 챔버에 들어갈 수 없도록 합니다. 포토 esist 유닛의 챔버는 특수 먼지가없는 안티 정적 노즐이있는 저전압 이오 나이저 (Low-Voltage Ionizer) 를 특징으로하며, -25kV의 꾸준한 전압을 유지함으로써 내부 먼지가 없습니다. 또한 통합 로드 잠금 (load-lock) 및 프로세스 챔버 (process chamber) 를 사용하여 처리량을 향상시키고 오염을 줄일 수 있습니다. 전반적으로 DAINIPPON Screen DAINIPPON SD W80A AVP는 효과적인 포토리스 (photoresist) 머신으로, 최소 유지 보수 및 다운타임으로 정확한 접촉 및 금속화 패턴을 생산하도록 설계되었습니다. 고급 이미징 시스템, 안정적인 정렬 도구, 특수 먼지 없는 (dust-free) 기능을 통해 정교한 어플리케이션을 위한 최적의 선택이 가능합니다.