판매용 중고 DNS / DAINIPPON SD-W80A-AVP #293705458

DNS/DAINIPPON SD-W80A-AVP는 웨이퍼 처리를 위해 설계된 고속 포토리스 코팅 장비입니다. 이 시스템은 1 층에서 0.1äm 두께에서 최대 3mm, 2 층의 포토 esist에서 최대 4.0mm 코팅 할 수 있습니다. 이 장치는 반도체 장치 제조, 센서, MEMS 장치 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 이 기계는 모듈 식 기계 프레임, 포토 esist 디스펜서, 고정밀 노즐, 다축 서보 제어 턴테이블, 제어 시스템 및 웨이퍼 홀더로 구성됩니다. 기계 프레임 (mechanical frame) 은 넓은 영역에 대해 높은 수준의 정확도를 보장하며, 턴테이블은 웨이퍼 홀더 (wafer holder) 를 이동하여 모든 방향에서 정확한 코팅 동작을 허용합니다. 또한 제어 도구 (Control Tool) 는 다양한 해상도를 통해 정확하고 반복 가능한 다중 축 동작을 제공하여 정확한 코팅 제어를 가능하게 합니다. 포토레시스트 디스펜서 (photoresist dispenser) 는 체인 및 공압 에셋을 기반으로 작동하며, 여러 포토레시스트를 노즐에 동시에 주입하여 다중 레이어링을 허용할 수 있습니다. 이것은 낭비를 최소화하면서 코팅 공정의 속도를 높이는 데 도움이됩니다. 디스펜서는 또한 최대 8 개의 포토 esist 캐니스터를 보유하여 응용 프로그램 간 빠르고 쉬운 변경을 허용합니다. 정밀 노즐은 웨이퍼 전체에 일관된 적용 범위, 최소 결함, 탁월한 레이어 균일성을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 저난기류 (low turbulence) 를 보장하도록 설계되어 기능 결함 및 광음향 방출을 방지합니다. 노즐은 매우 조절 가능하며, 패턴화 (patterning) 및 포토리스 (photoresist) 점도를 포함한 다양한 코팅 매개변수를 설정하는 데 사용될 수 있습니다. DNS SDW-80A-AVP는 다양한 웨이퍼 제조 응용 프로그램에 적합한 안정적이고 효율적인 포토 esist 코팅 모델입니다. 이 장비는 우수한 성능을 제공하며, 반복 가능한, 고품질의 결과를 단시간 내에 제공할 수 있습니다. 고속, 정밀도, 다양한 기능을 갖춘 이 시스템은 모든 Wafer 프로세싱 요구 사항을 완벽하게 충족할 수 있습니다.