판매용 중고 DNS / DAINIPPON SD-W80A-AV #293643053

DNS / DAINIPPON SD-W80A-AV
ID: 293643053
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
Spin developer system, 8" 2001 vintage.
DNS/DAINIPPON SD-W80A-AV는 집적 회로 생산에서 고효율과 청결성을 위해 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 그 효율적 이고 정밀 한 제어 를 통해, 높은 수율 로 "미크론 '척도 까지 복합 구조 를 생산 할 수 있다. 이 시스템에는 고정밀도 주사 타원계가 장착되어 있는데, 이 타원계는 광도를 정해진 입사각 (angle of incidence) 으로 측정하여 노출 광도를 정확하게 제어할 수 있습니다. 타원계는 광도 (light intensity), 파장 (wavelength), 흰색 광자 배율 (white photon scale), 정렬 (sorting), 빔 모양 (beam shaping) 및 편광을 설정하는 등 다양한 설정을 제공하여 복잡한 디자인의 요구에 따라 정확하게 노출할 수 있습니다. 이 장치에는 건조 오븐 (drying oven) 이 장착되어 있는데, 이 오븐은 노출 된 웨이퍼를 건식 (dry-pressing) 공정에 대한 원하는 온도와 습도로 가져올 수 있습니다. 이것은 거품과 결함을 피하고보다 균일 한 포토 esist 증착을 보장합니다. 오염을 최소화하기 위해 기계는 정밀 제어를위한 가열 매체로 공기 압력, 공기 흐름 및 산소로 작동하도록 프로그래밍 될 수있는 Closed-Loop Micro Flow Control Tool을 갖추고 있습니다. 이것은 챔버 (chamber) 와 포토 esist (photoresist) 에 유해한 입자를 피하는 데 도움이되며 선택적 전기 증착에도 사용될 수 있습니다. 에셋의 소프트웨어에는 이미지 분석 및 시뮬레이션 기능 (그래픽 사용자 인터페이스가 있는 라이트 스캐닝 모듈 포함) 이 포함되어 있습니다. 따라서 마스크를 보다 쉽고 빠르게 확인하고 수정할 수 있습니다. 이 모델은 또한 다른 시스템과 연결할 수 있는 강력한 데이터 통신 인터페이스 (data communication interface) 를 통해 포토리스 (photoresist) 장비와 호스트 컴퓨터 간에 빠르고 쉽게 데이터를 전송할 수 있습니다. 요컨대, DNS SD-W80A-AV는 정확한 제어 및 모니터링 기능을 갖춘 다가치 포토 esist 시스템입니다. 이 공구 는 효율적 인 운영 과 강력 한 도구 로서, 현대 의 집적 "회로 '생산 을 위한 훌륭 한 선택 이다.
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