판매용 중고 DNS / DAINIPPON SD-W80A-A #9274821

DNS/DAINIPPON SD-W80A-A는 리소그래피 프로세스에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 매우 정밀하게 설계되었으며, 고해상도의 3D 컴포넌트를 만들 수 있습니다. 이 시스템은 많은 저항 (resist) 유형과 호환되며 다양한 애플리케이션에 적합한 호스트 (host) 기능이 제공됩니다. 그것 은 "렌즈 '" 그룹' 과 "디오프트릭 머신 '으로 구성 된 고해상도 광학 장치 를 가지고 있어서 광물질 을 기판 에 정밀 하게 표적 하고 영상 할 수 있다. 이 도구는 또한 마이크로 밸브 (micro valve) 를 사용하여 포토 esist의 흐름을 조절하는 반면, 디지털 서보 제어 (digital servo control) 자산은 노출 중 기질의 정확한 변위를 보장합니다. 또한, 렌즈 그룹의 움직임뿐만 아니라 기판의 위치는 라인 스캔 CCD 카메라와 X-Y 스테이지로 모니터링, 제어됩니다. DNS SD-W80A-A는 카트리지, DIAS 및 CDM 기술과 같은 다양한 포토리스 공급 시스템을 사용할 수 있습니다. 또한 기판 온도와 포토 esist의 수량을 제어하기위한 독특한 "클로즈 루프 (Close-Loop)" 모델이 특징입니다. 이것 은 전체 "포토레지스트 '과정 중 의 노출 용량 을 조절 하는 데 도움 이 되므로, 일관성 있고 정확 한 결과 를 얻을 수 있다. 포토 esist 장비에는 통합 레이저 노출 메커니즘이 있습니다. 이를 통해 선 (line) 과 구멍 (hole) 과 같은 정확한 패턴 구조를 생산할 수 있으며, 전체 해상도를 최적화하는 데 도움이됩니다. 또한, 시스템은 마스크가 없는 직접 쓰기를 제공하며, 저항 영역이 큰 웨이퍼 투영 (wafer projection) 에도 사용할 수 있습니다. DAINIPPON SDW-80A-A는 사용이 간편한 그래픽 사용자 인터페이스도 제공합니다. 이렇게 하면 사용자가 프로세스를 쉽게 제어하고, 실험을 빠르게 설정하며, 웨이퍼 뷰 창 (wafer view window) 을 사용하여 매개변수를 수정할 수 있습니다. 즉, 프로세스의 정확성과 생산성을 극대화하는 데 도움이 됩니다. 전반적으로, SD-W80A-A는 리소그래피 프로세스를 최적화하기 위해 많은 기능을 갖춘 고급 포토 esist 장치입니다. 기계 는 견고 하고 매우 정확 하여, 다양 한 석판 인쇄 "애플리케이션 '에 이상적 이다.