판매용 중고 DNS / DAINIPPON SD-W60A-AVPE #9251328

DNS / DAINIPPON SD-W60A-AVPE
ID: 9251328
웨이퍼 크기: 6"
Coater / Developer systems, 6".
DNS/DAINIPPON SD-W60A-AVPE는 고정밀도 및 고해상도 석판 응용프로그램을 위해 설계된 고급 고성능 포토에지스트 장비입니다. 이 시스템에는 독보적이고 강력한 이미지 처리 (image processing) 및 분석 장치 (analysis unit) 가 포함되어 있어 프로세스 제어를 최적화하면서 매우 훌륭한 기능을 감지하고 해결할 수 있습니다. DNS SD-W60A-AVPE는 안정적이고, 충실도가 높은 웨이퍼 이미지를 지속적으로 에치 품질과 반복 기능을 제공합니다. 최대한의 성능을 보장하기 위해, 이 기계는 초고성능 (Ultra-High) 진공 환경에서 작동하면서 뛰어난 포지셔닝 정확성과 반복성을 제공하도록 설계된, 새롭게 향상된 웨이퍼 스테이지를 포함합니다. DAINIPPON SD-W60A-AVPE에서 사용하는 독특한 이미징 기술은 전자 빔 합성 및 정밀 이미지 정렬을 결합한 입자 빔 광학 접근법을 기반으로합니다. 이 독점 기술을 활용하여, 이 도구는 기록적인 해상도와 정확성 결과를 달성 할 수 있습니다. 에셋은 또한 효율적인 카세트 로딩 모델을 특징으로하며, 연산자의 개입을 최소화하면서 고속 작동을 위해 설계되었습니다. SD-W60A-AVPE는 또한 여러 각도 기판 노출을 제공할 수 있으며, 이를 통해 프로세스 유연성이 향상되고 처리량이 향상됩니다. 또한, 이 장비는 다각도 정렬, 자동 초점, 자동 노출 (auto-focus) 등 이미징 정밀도를 더욱 향상시키기 위해 다양한 개발 기술을 지원합니다. DNS/DAINIPPON SD-W60A-AVPE는 99% 의 인상적인 가동 시간을 가진 매우 신뢰할 수있는 포토 esist 시스템입니다. 이 수준의 신뢰성 (Reliability) 은 세계 최고의 반도체 제조업체의 주요 도구가 될 수있었습니다. 이 기계는 독보적인 "이미지 처리 (image processing) '기술로 빠른 속도로 우수한 결과를 낼 수 있다. 또한 특정 상황에 맞게 조정할 수 있으며, 특정 요구 사항에 맞게 맞춤형 솔루션을 제공할 수도 있습니다. 따라서 DNS SD-W60A-AVPE는 고정밀 석판 응용에 이상적이며, 업계의 벤치 마크가되었습니다.
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