판매용 중고 DNS / DAINIPPON SD-W60A-AVPE #9251327

DNS / DAINIPPON SD-W60A-AVPE
ID: 9251327
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1993
Coater / Developer systems, 6" 1993 vintage.
DNS/DAINIPPON SD-W60A-AVPE는 현대 반도체 생산을 위해 설계된 다양한 고급 기능을 갖춘 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 최첨단 옵틱 (optic), 고급 소프트웨어 (advanced software) 및 통합 재료 전달 장치 (integrated material delivery unit) 를 결합하여 고효율 프로세스와 정밀 패턴화를 지원합니다. photoresist 기계의 광학 도구는 긴 일관성 길이 템플릿 소스, Zemax 최적화 광학 및 듀얼 센서 광학을 사용하여 최적화 된 이중 노출 헤드 (double exposure head) 로 구성됩니다. 이를 통해 소음이 적은 이미징, 높은 정렬 정확도, 뛰어난 해상도 및 초점 깊이를 확보할 수 있습니다. 또한 10 nm에서 2000 nm 사이의 다양한 레이어 두께로 작업 할 수 있습니다. DNS SD-W60A-AVPE 의 소프트웨어 기능은 자체 초점 제어, 정렬 자산, 이미지 프로세서 등의 기능을 제공합니다. 또한 스캔 시간 (scan time), 스캔 속도 (scan speed), 초점 수준 (focus level) 과 같은 노출 매개변수를 조정하여 패턴화를 최적화하고 용량을 세밀하게 조정할 수 있습니다. DAINIPPON SD-W60A-AVPE의 통합 재료 전달 모델을 사용하면 여러 소스 저수지와 빠른 재료 전달이 가능합니다. 인트라콘 (Infracon) 기술은 약물 전구체를 노출 헤드에 전달하는 데 필요한 시간을 크게 줄입니다. 이 장비는 또한 유해 파일을 안전하게 처리하기위한 오염 통제 깔때기 (funnel) 설계를 가지고 있습니다. SD-W60A-AVPE (SD-W60A-AVPE) 는 크기와 패턴이 다른 웨이퍼에서도 고품질, 정확한 패턴을 생성 할 수있는 신뢰할 수있는 포토리스트 시스템을 제공합니다. 최신 반도체 (반도체) 생산에 귀중한 자산이다. 고품질 (고품질) 장치를 생산하기 위한 정확한 패턴화와 효율적인 공정을 제공한다.
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