판매용 중고 DNS / DAINIPPON SD-W60A-AVP #9235505

DNS/DAINIPPON SD-W60A-AVP는 반도체 생산에 사용하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 보다 빠르고 간단한 처리를 위해 설계된 자동 개발 시스템입니다. 이 장치는 전체 배치 프로세스 (full-rate batch process) 작업을 수행할 수 있으며 표준 (standard) 주기와 사용자정의 (custom) 주기를 모두 수행할 수 있습니다. 주 기계와 웨이퍼 홀더의 두 가지 주요 부분으로 구성됩니다. 주요 도구에는 포토 esist 사전 처리 챔버, 개발 챔버, 린싱 챔버, 자산 인터페이스 및 제어판, PC 컨트롤러 및 건조 모델, 자동 화학 관리 장비 및 설계 소프트웨어 (옵션) 가 포함됩니다. 챔버에는 포토 esist 스프레이어와 펌프가 장착되어 있으며, 포토 esist 액체를 스프레이하고 균등하게 분배하는 데 사용됩니다. 개발 챔버는 포토 esist의 화학 가공이 이루어지는 곳입니다. 린싱 챔버는 잔류 광사 제 및 기타 원치 않는 물질을 줄이기 위해 사용됩니다. 시스템 인터페이스 (System Interface) 와 제어판 (Control Panel) 은 프로세스 매개변수를 조정하고 모든 프로세스를 자동 모드로 전환하는 기능을 제공합니다. PC 컨트롤러는 다른 구성 요소와 함께 작동하여 프로세스 제어, 스케줄링, 분석을 제공하는 컴퓨터입니다. 웨이퍼 홀더 (wafer holder) 는 사용자가 포토레시스트 액체를 웨이퍼 위에 원하는 패턴에 정확하게 정렬할 수 있도록 하는 컴포넌트입니다. 정밀 홀더 헤드와 웨이퍼 스테이지로 구성됩니다. 홀더 헤드 (holder head) 에는 여러 프로세스 실행에 대해 "웨이퍼 '정렬을 빠르고 정확하게 조정할 수 있는 센서와 작동기가 장착되어 있습니다. 또한, 웨이퍼 스테이지에는 평면 레벨러와 온도 조절 장치가 장착되어 있습니다. DNS SD-W60A-AVP 포토레시스트 (photoresist) 장치는 신뢰할 수 있고 자동화된 프로세스가 필요한 사용자에게 적합하며 PC에서 기계를 제어하는 편리함을 원합니다. 웨이퍼 홀더 (wafer holder) 와 조정 가능한 매개변수 (adjustable parameters) 의 정밀도가 높을수록 모든 배치에서 높은 수익률 결과를 얻을 수 있습니다.