판매용 중고 DNS / DAINIPPON SD-W60A-AVP #9235504

DNS / DAINIPPON SD-W60A-AVP
ID: 9235504
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2000
Developer system, 6" 2000 vintage.
DNS/DAINIPPON SD-W60A-AVP는 사용자가 정확한 제어를 통해 광학 기계 장치를 만들 수 있도록 photoresist 프로세스 장비입니다. 여러 세트의 사진 마스킹이있는 고급 증착실 (advanced deposition chamber) 이 특징이며, 이를 통해 매우 정확한 인쇄 개발과 기판으로 패턴을 정확하게 전송할 수 있습니다. 이 시스템에는 두 개의 분리되고 독립적 인 증착실이 있습니다. 하나는 액체 용, 다른 하나는 고체 광전자입니다. 이는 챔버 (chamber) 간 물질의 교차 오염없이 노출 조건을 빠르게 변경할 수있는 기능을 포함하여 수많은 이점을 제공합니다. 포토리스 (photoresist) 공정 장치에는 고해상도 현미경이 장착되어 있어 필요에 따라 다른 공정 매개변수를 정확하게 모니터링하고 증착 매개변수를 조정할 수 있습니다. 또한, 이 머신은 쉽고 정확한 작동을 위한 다양한 고급 디지털 컨트롤러 (advanced digital controller) 와 인터페이스 (interface) 를 포함하고 있어 패턴 제어가 더욱 효율적입니다. 통합 된 광학 현미경은 0.25 미크론의 해상도를 가진 습식 (wet) 및 건조 (dry) 공정에 대해 뛰어난 이미징을 제공합니다. 프로세스 모니터링 (Process Monitor) 기능을 실시간으로 제공하여 프로세스 매개변수를 신속하게 측정하고 제어할 수 있습니다. 내장형 노출판은 투과성과 반사 품질이 높은 석영 유리 (quartz glass) 로 만들어져 광도 (light intensity) 와 방향을 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한 다양한 마스크 크기와 기판 두께 (기판 두께) 에 맞게 조정할 수있는 다양한 위치가 있습니다. 이 도구 에는 자동화 된 "필름 애플리케이션 '이 장착 되어 있는데, 이것 은 광필름 을 기판 에 선택적 으로 그리고 정확 하게 적용 하도록" 프로그램' 할 수 있다. 이 필름은 전기적으로 중립적인 장치 프로세스 제어를 위해 다양한 미세 라인 (fine line) 및 공간 패턴 (space pattern) 과 같은 수많은 옵토 기계적 기능을 만드는 데 사용될 수 있습니다. DNS SD-W60A-AVP 는 다양한 제어 기능을 제공하며, 따라서 사용자는 각 작업에 가장 적합한 프로세스 설정과 매개변수를 즉시 선택할 수 있습니다. 사용자는 나중에 사용할 수 있도록 즐겨찾는 설정을 저장할 수도 있으며, 보다 효율적인 생산에 기여할 수도 있습니다. 전반적으로 DAINIPPON SDW-60A-AVP photoresist 자산은 정확한 opto-mechanical 장치를 만드는 고급 다용도 모델입니다.
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