판매용 중고 DNS / DAINIPPON SD-W60A-AVP #293768584

DNS/DAINIPPON SD-W60A-AVP 포토 esist 장비는 자동화 및 유연성을 위해 제작 된 다기능 및 사용하기 쉬운 시스템입니다. 이 장치에는 다중 사용자 생산 환경에서 코팅, 개발 및 이미징 반도체 웨이퍼를 위해 설계된 구성 요소가 있습니다. 자동화된 처리 (automated handling) 로봇은 기판을 웨이퍼 저장 챔버에서 코팅, 개발 또는 이미징 스테이션으로 이동할 수 있습니다. 기계는 온도, 압력, 중첩, 수치 조리개, 초점, 노출 대칭 등 다양한 매개 변수를 완벽하게 제어 할 수 있습니다. 이 툴에는 높은 정확성과 반복성을 보장하는 고급 하드웨어/소프트웨어 구성 요소가 설치되어 있습니다. 하드웨어에는 코팅 스테이션, 개발 스테이션, 이미징 스테이션, 스캐닝 전자 현미경, 터보 펌프, 가스 블렌더 어셈블리 및 배기 가스 스크러버가 포함됩니다. 소프트웨어 컴포넌트는 해상도, 패턴 전송, 웨이퍼 서피스 거칠기와 같은 포토레시스트 매개변수를 분석하도록 특별히 설계되었습니다. DNS SD-W60A-AVP에 사용되는 고출력 레이저 리소그래피 (lithography) 자산에는 고해상도 특성이 있으며 기판의 3D 이미징이 매우 세부적으로 허용됩니다. 이 모델은 통합 이미징 장비를 사용하여 최대 30 나노미터 해상도의 샘플을 감지합니다. 광학 "시스템 '에는 원하는 기판 에 정확 한 초점 을 맞추기 위한 물체" 렌즈' 와 "스테퍼 모우터 '가 들어 있다. 이 단위는 기판 두께를 반전시키고, 서피스 지형을 결정하며, 샘플의 모서리나 결함을 감지하는 기능을 갖습니다. 또한 빛과 샘플 피쳐를 조작 할 수있는 고급 정밀 엔지니어링 (Advanced Precision Engineering) 기술이 있습니다. 이 기계는 기판-열 에너지 (기판-열 에너지) 를 정확하게 제어하므로, 더 큰 영역과 더 높은 속도로 더 높은 정확도를 제공합니다. 또한 이 툴은 고급 이미지 처리 (image-processing) 기능을 통해 데이터를 빠르고 정확하게 분석할 수 있습니다. 이 기능은 스펙트럼 프로파일링, 마스킹, 세분화 등 다양한 작업을 수행할 수 있습니다. 표본의 모서리, 모서리, 패턴 등을 감지할 수 있는 반면, 비정상, 결함의 세부 매핑을 제공할 수 있습니다. 전반적으로 DAINIPPON SDW-60A-AVP 포토 esist 자산은 다양한 포토 esist 응용 프로그램을 위해 설계된 안정적이고 고효율 모델입니다. 고급 기능 및 부품으로 인해 모든 반도체 제조 공장에 적합한 장비가 됩니다. 이 시스템은 웨이퍼 (Wafer) 제작 프로세스의 생산성을 높이는 한편, 상세한 분석 및 반복 가능한 결과를 제공합니다.