판매용 중고 DNS / DAINIPPON SD-W60A-AP #9018264
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ID: 9018264
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1997
Developer, 6"
E-Flow
Sub system
Water tank
Chemical tank
Missing parts:
Monitor
Control panel
1997 vintage.
DNS/DAINIPPON SD-W60A-AP는 초고수준 석판화 응용 프로그램에 사용하도록 설계된 고급 이미징 프로세스를 기반으로 하는 완전 자동화된 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 고급 광학 시스템은 550 나노미터 (550 나노미터) 의 크기의 패턴 해상도를 통해 웨이퍼 레벨 (wafer-level) 패키징 및 패키징 기판의 요구를 모두 충족시킬 수 있는 유연성을 제공합니다. 자동 장치 (Automated Unit) 에는 웨이퍼 레벨 저항제 (Resist Processing Chamber) 가 있어 수동으로 로드하거나 언로드하지 않고도 포토레시스트를 정확하게 적용하고 스트리핑할 수 있습니다. 이러한 자동화된 처리를 통해 인적 오류 발생 가능성을 제거하고 운영 효율성을 높일 수 있습니다. 이 기계는 또한 멀티 플렉서 기능, 고출력 레이저, 고급 자동 초점 렌즈 (auto-focus lens) 를 포함한 고급 하드웨어 구성 요소를 갖추고 있어 최고 해상도와 정확도를 보장합니다. 멀티플렉서 (multi-plexer) 기능을 사용하면 여러 패턴을 동시에 노출하여 공구 처리량을 늘릴 수 있습니다. 고출력 레이저는 더 넓은 영역에 패턴을 노출시킬 수 있습니다. 고급 자동 초점 렌즈 (auto-focus lens) 는 노출 패턴 정확도와 피쳐를 정렬하기 위한 디지털 판독값을 제공합니다. 자산은 또한 실시간 패턴 인식, 폐쇄 루프 제어, 패턴 오버레이 (overlay) 를 통한 자율 작동 등 고급 자동화 원칙을 통합합니다. 또한, 이러한 모든 요소는 품질 관리 (Quality Control) 및 포스트 프로세싱 (Post-processing) 기술과 결합하여 확장 된 생산 주기에 비해 최소한의 결함을 보장합니다. DNS SD-W60A-AP는 모든 석판 응용 프로그램의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 탁월한 성능, 정확성 및 신뢰성을 제공합니다. 최대 수율과 품질 (Quality) 을 보장하기 위해 가장 높은 표준에 따라 모델이 유지됩니다. 뛰어난 성능과 고품질 출력을 통해 포토레시스트 (photoresist) 어플리케이션을 위한 완벽한 선택이 가능합니다.
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