판매용 중고 DNS / DAINIPPON SD-80BW-AP #9186681

DNS/DAINIPPON SD-80BW-AP는 DNS Screen이 반도체 제작을 위해 개발 한 포토 esist 이미징 장비입니다. 이 시스템은 업계에서 가장 발전된 석판화 (lithography) 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이 장치에는 양면 마스크 쓰기 (double-side mask writing), 비접촉 개발 (non-contact development) 및 최고 수준의 노출 정확도와 처리량을 제공하도록 설계된 기타 다양한 기능이 통합되어 있습니다. 기계의 양면 마스크 쓰기 (양면 마스크 writing) 기능을 통해 웨이퍼 양면을 동시에 노출하고 쓸 수 있습니다. 이렇게 하면 노출 시간이 짧아지고 결과가 반복됩니다. 또한 [양면 마스크 쓰기 도구] 는 노출되는 레이어에 따라 두 가지 쓰기 모드를 제공합니다. 자동 비접촉 개발 기능을 사용하면 마스크 개발 중 운영자의 개입을 줄일 수 있습니다. 자동 개발 (Auto-Development) 메커니즘은 각 레이어에 대해 가장 적합한 개발자 레벨을 자동으로 설정하고 필요한 경우 자동으로 개발자 레벨을 조정합니다. 이렇게 하면 개발자 설정이 각 레이어마다 최상의 해상도를 얻도록 최적화됩니다. DNS SD-80BW-AP는 또한 고급 CPUI (Control Panel User Interface) 를 통해 시스템 매개변수 설정을 단순화하고 노출 결과를 신속하게 확인할 수 있습니다. 이 패널은 또한 전체 자산의 작동 상태 (Operating Status) 를 손쉽게 모니터링할 수 있도록 설계되었습니다. 따라서 오류가 발생하면 쉽게 조정할 수 있습니다. 이 모델은 또한 정밀 정렬 제어에 다중 레벨 phase-shift quartered interferometer를 사용하고 고해상도 이미징에 멀티 빔 프로파일 모니터를 사용하여 고급 이미징 성능을 제공합니다. DAINIPPON SD-80BW-AP에는 처리 된 웨이퍼를 편리하게 추적 할 수있는 자동 웨이퍼 책임 장비가 제공됩니다. 마지막으로, 시스템은 미러 및 광학 장비에 대한 포토 esist의 영향을 최소화하여 수명 연장 및 성능 향상을 위해 부식 방지 장치 (anti-corrosive unit) 를 내장했습니다. 전반적으로, SD-80BW-AP 포토 esist 이미징 머신은 최고 수준의 정확성과 처리량을 위해 고급 성능과 정밀 제어를 제공합니다. 이 도구는 직관적인 제어판 (Control Panel) 과 자동화된 웨이퍼 (Wafer) 책임으로 신뢰할 수 있는 처리량을 제공하도록 설계되었습니다.