판매용 중고 DNS / DAINIPPON SD-200W-AVPE #9157629

DNS / DAINIPPON SD-200W-AVPE
ID: 9157629
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
Coater / Developer system, 8" 2001 vintage.
DNS/DAINIPPON SD-200W-AVPE 포토레지스트 (photoresist) 장비는 고급 기술과 다양한 포토레지스트 어플리케이션을 위한 최고의 성능을 제공하는 강력하고 다양한 개발 시스템입니다. 저항성 코팅, 노출 및 높은 정확성과 반복 성을 가진 프로세스를 활용합니다. 이 장치는 반도체 및 HDI/마이크로 전자 장치 제조에 이상적입니다. 이 포토 esist 머신은 다중 lobe 로터리 슬릿 노즐 증착 헤드로 구성되며, 레지스트 적용, 냉각 된 이중 빔 전동 X-Y 스테이지 및 자동화 된 프로세스 시퀀스 유닛에서 뛰어난 균일 성을 허용합니다. 멀티 로브 로터리 슬릿 노즐 증착 헤드 (multiple-lobe slit nozzle deposition head) 는 정확하고 반복 가능한 저항 코팅 성능을 제공하며, 프로세스를 세밀하게 조정하기 위해 쉽게 조절 할 수 있습니다. 3 개의 독립적으로 통제 된 저항 노즐 (resist nozzle) 이 장착되어 있으며, 서로 다른 농도 수준에서 저항을 공급할 수 있으며, 이 도구는 더 높은 정확도로 저항 패턴을 수행 할 수 있습니다. 냉각된 듀얼 빔 전동 X-Y 스테이지는 저항 처리 중 웨이퍼 샘플을 부드럽고 진동이없는 포지셔닝을 제공하도록 설계되었으며, 여러 웨이퍼 캐리어를 쉽게 장착 할 수있는 대형 스플릿 열 (split-column) 플랫폼이 포함되어 있습니다. 전동 단계 (motorized stage) 는 전체 실행에서 정확하고 일관된 저항 패턴을 보장하기 위해 정확한 샘플 이동을 가능하게합니다. 자동화된 프로세스 시퀀스 단위 (automated process sequence unit) 는 이미지의 크기 조정에서 웨이퍼 샘플의 기록 테스트 (recording test) 에 이르기까지 전체 프로세스를 제어합니다. 또한 각 샘플 실행 (sample run) 의 데이터를 저장하고 결과를 자동으로 비교할 수 있습니다. 이 장치를 통해, 엔지니어는 시간이 지남에 따라 자산 성능을 최적화하고, 생산량을 향상시킬 수 있습니다. 전반적으로 DNS SD-200W-AVPE 포토레지스트 모델은 다양한 포토레지스트 응용 프로그램에 고급 기술과 고성능 기능을 제공하여 정확하고, 반복 가능하며, 신뢰할 수있는 저항 처리를 제공합니다. 다중 로브 로터리 슬릿 노즐 증착 헤드 (multiple-lobe slit nozzle deposition head) 에서 자동 프로세스 시퀀스 장치 (automated process sequence unit) 까지 장비는 포괄적인 기능을 제공하여 반도체 및 HDI/마이크로 전자 장치 제조에 이상적인 선택입니다.
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