판매용 중고 DNS / DAINIPPON SCW-636-BV #9226344

DNS/DAINIPPON SCW-636-BV는 집적 회로 제조에서 반도체 웨이퍼의 리소그래피에 사용되는 최첨단 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 대형 6 인치 (150mm) 카세트-카세트 수송을 기반으로합니다. 매시 (시) 당 46 개의 웨이퍼를 처리하여 집적 회로 제조에 우수한 생산 수율을 제공합니다. 이 장치는 다중 영역 온도 제어 머신 (multi-zone temperon control machine) 을 작동시켜 다양한 온도에서 균일 한 처리를 보장하며, 이미징 매개변수의 정확한 제어를 얻습니다. 이 도구는 또한 다양한 와트와 파장에 최적화된 성능을 제공하기 위해 대용량 렌즈 (array of lenses) 를 사용하도록 설계되어 적용이 매우 유연합니다. 자산은 공랭식이며 진공 환경에서 작동하며, 뛰어난 저항성 접착 및 에칭 성능을 제공합니다. 또한 집적회로 제조에 영향을 줄 수있는 입자 (particle) 와 오염 물질 (contaminant) 을 제거하도록 설계된 고효율 컨베이어 모델이 있습니다. SCW-636 은 반도체 웨이퍼의 리소그래피 및 이미징을 위한 매우 안정적이고 비용 효율적인 솔루션입니다. 완전 자동화되어 내장형 GUI 인터페이스를 통해 쉽게 구성할 수 있습니다. 이를 통해 각기 다른 리소그래피 (lithography) 애플리케이션에 대한 프로세스 레시피의 사용자 정의를 극대화하고 유연성을 극대화할 수 있습니다. 이 장비에는 또한 마스크 정렬을 자동으로 웨이퍼 서피스로 조정하는 고속 레이저 정렬 시스템 (High Speed Laser Alignment System) 이 포함되어 있습니다. 이를 통해 올바른 석판 이미지가 생성되고 프로세스 수익률이 향상됩니다. 또한, 이 장치는 다양한 입력 및 출력 포트 (Input and Output Port) 를 제공하여 나머지 운영 제품군과 간단하면서도 안전한 통신을 제공합니다. 이러한 모든 기능을 통해 DNS SCW-636-BV는 중대형 집적 회로 생산에 이상적인 선택이 됩니다. 이 기계는 매우 효율적이며, 매우 정확한 이미지와 반복 가능한 결과를 제공할 수 있습니다. 따라서 모든 석판화 프로젝트에 비용 효율적이고 신뢰성이 높은 솔루션이 됩니다.