판매용 중고 DNS / DAINIPPON SCW 524-BV #293622173

DNS / DAINIPPON SCW 524-BV
ID: 293622173
Coater / Developer systems.
DNS/DAINIPPON SCW-524-BV는 반도체 제작에 사용되는 공정 인 리소그래피에 사용하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 고성능 마이크로일렉트로닉 (microelectronic) 장치와 시스템을 만드는 비용 효율적이고 안정적인 도구입니다. DNS SCW-524-BV 는 가공소재의 특정 영역을 마스킹할 때 고도의 해상도를 높일 수 있는 독자적인 포토리스 (photoresist) 기술을 사용합니다. 이 단위는 서브 미크론 스케일 (submicron-scale) 및 나노 스케일 석판 공정의 표면을 정확하게 패턴화하는 기능을 가지고 있습니다. DAINIPPON SCW-524-BV는 광원 이미징 및 분산 기반 저항 재료 증착을 사용하여 서브 미세 구조를 만듭니다. 광원은 파장 365nm, 출력 최대 1.3kW의 석영 사파이어 레이저입니다. 이 "레이저 '는 해상도 를 최대 0.7" 킬로미터' 까지 달성 할 수 있으며, 극히 정확성 과 균일 함 으로 기판 에 "패턴 '을 생성 할 수 있다. 분산 기반 저항 재료 증착기는 한 쌍의 노즐 바 (nozzle bar) 로 구성되며, 이 노즐 바는 최대 10ml/min의 속도로 기판 위에 저항 물질을 분배합니다. 저항의 두께는 조절 가능하며, 적용에 따라 0.5äm ~ 10äm 범위입니다. 훈련이 권장되지만 SCW-524-BV 포토 esist 도구는 사용하기 쉽습니다. 자산은 산업용 (industrial use) 을 위해 설계되었으며, 설정하고 올바르게 사용할 때 높은 처리량을 달성할 수 있습니다. 이 모델은 온도와 작업 영역 (work area) 환경을 정확하게 제어 할 수있는 균일 한 온도 조절 장비를 갖추고 있습니다. 이것은 더 높은 해상도의 이미지와 향상된 재생성에 기여합니다. 이 "시스템 '에는 또한 질소 의 대기 가 있는데, 이것 은 가공소재 의 오염 물질 의 수 를 줄이고 청결 함 을 향상 시키는 데 도움 이 된다. DNS/DAINIPPON SCW-524-BV 포토레지스트 장치는 고성능 마이크로 일렉트로닉 장치 및 시스템을 만들기 위해 안정적이고 비용 효율적인 도구입니다. 고해상도, 조절 가능한 저항 두께 (Adjustable Resist Thickness) 및 균일 한 온도 조절 (Uniform Temperature Control) 기능을 통해 이 기계는 높은 수준의 재현성을 통해 정확한 결과를 얻을 수 있습니다.
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