판매용 중고 DNS / DAINIPPON / SCREEN SK-W80A #293642826

DNS/DAINIPPON/SCREEN SK-W80A는 고급 기능을 사용하여 박막 기판의 고성능, 정밀 사진 리소그래피 패턴을 제공하는 포토 esist 장비입니다. 이 포토 esist 시스템은 무접촉 스핀 개발자와 더 넓은 범위의 표준 공정 화학 물질 (standard process chemicals) 의 조합을 사용하여 내구성과 반복 성을 극대화합니다. 이 장치는 마이크로 리토 그래피 (micro-lithography) 에 대한 첨가 또는 감산 기술을 사용하여 레이저 (laser) 또는 스캐닝 광학 머신 (scanning optical machine) 과 같은 광원에 노출 된 박막 스핀 온 저항층을 적용하여 작동합니다. 그런 다음 "레지스트 '층 을 여러 가지 화학 목욕 을 통해 처리 한 다음 2 차 감광제" 코우팅' 을 한다. 이 2 차 저항성 물질 은 자외선 (UV) 에 노출 된 다음, 개발자 목욕탕 (developer bath) 에 담아서 기질 표면 에 양수 (positive) 또는 음수 (negative) 패턴 층 을 형성 한다. 최종 "패턴 '의 해상도 와 정확도 는 광원 의" 패턴' 과 산성 "에치 '와" 베이크 아웃' 과정 중 에 공구 가 유지 하는 "파라미터 '에 의존 한다. DNS SK-W80A는 Si3N4 및 SiO2를 포함한 다양한 박막 재료를 위해 다양한 마이크로 스케일 패턴을 재현 할 수 있습니다. 이 자산에는 패턴화 프로세스 (Patterning Process) 에서 높은 정확성과 반복성을 보장하기 위해 여러 가지 특수 기능이 있습니다. 첫째, 스피너 (spinner) 의 회전 속도를 모니터링하고 스핀 시간과 압력을 제어하여 균일 한 패턴화를 보장하는 속도계 (speedometer) 가 제공됩니다. 또한, 에너지 분산 노즐 디자인은 용매 증발로 인한 저항 이동을 완화하면서 균일 한 스핀 재료 커버리지를 보장하는 데 도움이됩니다. 또한, 이 모델에는 고급 이미지 처리 소프트웨어 기능 (Advanced Image Processing Software Facility) 이 장착되어 있어 최소 운영자 입력으로 정확하고 반복 가능한 프로세스가 가능합니다. 마지막으로, W80A는 기능 크기 (feature size) 와 상대 위치 (relative position) 의 효과를 시뮬레이션하여 석판화 매개변수를 쉽게 조정하고 세밀하게 조정할 수 있습니다. 고급 기능으로 인해 SCREEN SK-W80A는 고정밀, 박막 마이크로 구조 생산에 이상적인 솔루션입니다. 이 포토리스 (photoresist) 장비는 우수한 기술과 반복 가능한 프로세스 제어 (repeatable process control) 를 활용하여 일관된 최상위 결과를 보장하며, 다양한 장치 생산에 필수적인 구성 요소를 제공합니다. 통합 소프트웨어, 조정 가능한 매개변수 및 미세 조정 기능을 갖춘 W80A 시스템은 정밀 마이크로 리소그래피 (micro-lithography) 처리에 가장 적합합니다.