판매용 중고 DNS / DAINIPPON / SCREEN SC-80EX #293630357

ID: 293630357
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2017
Resist coater system, 6" Robot transfer system Processing system: Spray coating with wafer temperature control function Spary nozzles: (2) Chemical nozzles, solvent nozzle Coater cup Hot / Cold plate Non-functional PC 2017 vintage.
DNS/DAINIPPON/SCREEN SC-80EX는 고급 마이크로 일렉트로닉 장치의 제작에서 극도로 정밀하게 설계되도록 설계된 고도의 포토 esist 장비입니다. 다양한 기능과 기능으로, 사용자가 정확성과 세부 사항이 높은 디지털 포토마스크 (photomask) 를 빠르고 쉽게 제작할 수 있도록 설계되었습니다. DNS SC-80EX는 독점적 인 듀얼 빔 UV 스캐닝 시스템을 사용하므로 리소그래피 프로세스가 정확한 해상도 (8nm) 로 이루어집니다. 이중 빔 (dual-beam) 장치를 사용하면 급성 디테일 및 해상도로 고급 다중 레벨 마스크 (advanced multi-level mask) 를 빠르게 생산할 수 있으며, 마이크로일렉트로닉스의 다양한 제작에 사용되는 포토 마스크에 유용합니다. SCREEN SC-80EX는 최첨단 포토 esist 머신으로, 매우 상세한 이미지와 정밀도로 포토 마스크를 생성 할 수 있습니다. 하드웨어/소프트웨어 전문 툴을 갖춘 정교한 설계를 통해 프로세스의 각 단계를 정확하게 세밀하게 튜닝하고 제어할 수 있습니다 (영문). 이러한 도구에는 3 차원 (3D) 포토 마스크 조작 도구, 크롬 모양 자산 및 전용 CAD 스위트가 포함됩니다. 또한 DAINIPPON SC-80EX는 다중 구형 렌즈, 다중 미러 광학 및 교차 반사 감소 모델 등 여러 가지 고급 광학 시스템을 사용합니다. 이러한 기능은 해상도, 명암비 및 선명도를 매우 높게 보장합니다. 이 고급 광학과 함께, 기계는 또한 6.2nm 및 5.5nm와 같은 매우 미세한 해상도로 디지털 마스크를 만들 수 있습니다. 장비는 고급 소프트웨어 제어 시스템 (Advanced Software Control System) 에서 실행되며, 이 시스템은 장치의 전체 디지털 작동을 제공합니다. 이 기계를 사용하면 포토마스크 제조 프로세스 (photomask fabrication process) 와 자동화된 작업 모니터링 및 제어 (control of the operation) 의 세부 사용자정의가 가능합니다. 전반적으로 SC-80EX는 매우 정확한 디테일과 해상도로 고급 포토 마스크 (photomask) 를 제작하는 데 적합한 고도의 포토 esist 도구입니다. 고급 하드웨어 도구, 정교한 광학 시스템, 상세한 소프트웨어 제어 (software control) 의 조합으로 업계 최고의 포토레지스트 (photoresist) 자산 기능을 제공 할 수 있습니다.
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