판매용 중고 DNS / DAINIPPON SC-W80B-AVPE #9316693
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DNS/DAINIPPON SC-W80B-AVPE Photoresist Equipment는 반도체 장치 처리에 사용되는 올인원 시스템입니다. 이 장치는 코팅 및 건조, 개발, 에치 (etch) 및 스핀 온 (spin-on) 넓은 영역 기판을 포함한 다양한 기능을 제공합니다. 이 기계는 매우 자동화되어 있어 코팅 (coating) 프로세스에 대한 정확한 제어 및 자세한 피드백을 제공합니다. DNS SC-W80B-AVPE Photoresist Tool은 DNS Screen 프린터를 기반으로하며, 최대 5 미크론의 정확도로 기판을 코팅하기위한 정밀한 5 축 정렬 에셋이 있습니다. 프린터에는 420 x 420mm 프레임 프로파일이 있으며 해상도는 최대 20 µm입니다. 또한 조잡한 정렬을위한 영역 카메라, 기판을 빠르고 쉽게 장착 할 수있는 진공 랙, 기판 공급 용 컨베이어 모델 (Conveyor Model) 이 포함되어 있습니다. 장비에는 최대 12 인치, 길이 50 인치의 기질을 수용 할 수있는 4 가지 건조 오븐이 있습니다. 이 시스템에는 다양한 프로세스 제어 기능도 있습니다. 하나의 원격 제어 장치 (Remote Control Unit) 가 전체 장치를 제어하여 사용자가 수동으로 또는 모든 프로세스를 자동으로 제어할 수 있습니다. 이 장치에는 마스크 정렬을 위한 자동 에지 트리밍 기능이 내장되어 있으며, 고급 정렬 및 패턴 인식 (pattern recognition) 을 위한 디지털 이미지 처리 기능이 내장되어 있습니다. 또한, 이 기계에는 스핀 온 (spin-on) 광물질 및 박막 재료를위한 초정밀 회전 장치 (spin-precision spinning unit) 와 레이어 두께의 균일성을 보장하는 백스트립 (backstrip) 기능이 포함되어 있습니다. DAINIPPON SC-W80B-AVPE Photoresist Tool은 매우 효율적이며, 처리량은 시간당 최대 800 웨이퍼입니다. 고정밀 생산 환경에서 사용하도록 설계되었습니다. 또한, 이 자산은 ANSI/ESD 표준을 충족하도록 설계되었으며 RoHS 규정 준수 (RoHS Compliant) 로, 생산 종사자와 운영 환경 모두에 안전합니다. SC-W80B-AVPE Photoresist 모델은 고성능 반도체 장치 생산에 이상적입니다. 신뢰할 수 있고, 사용하기 쉽고, 탁월한 정확성과 정확성을 제공합니다. 이 장비는 디지털 이미지 처리 (digital image processing), 고급 에지 트리밍 (advanced edge triming), 고속 (high-speed operation) 과 같은 고급 기능을 활용하여 매번 품질 장치를 생산할 수 있습니다.
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