판매용 중고 DNS / DAINIPPON SC-W80A #9315972

DNS/DAINIPPON SC-W80A (photoresist pre-treater) 는 반도체 제조 공정에서 더 큰 처리량 및 개선 된 수율 촉진에 사용되는 건조 장비를 개발하는 포토 esist 프리 트리터입니다. 이 포토 esist 시스템은 정밀 웨이퍼 사전 처리와 웨이퍼 개발 처리의 혁신적인 조합을 사용하여 스핀 온-디핑 접촉 (spin-on-dipping contact), 스핀 온-디핑 스프레이 (spin-on-dipping spray) 및 스프레이 온 개발 방법을 포함한 광범위한 포토 esist 프로세스를 허용합니다. DNS SC-W80A 는 다재다능하고 사용자 친화적인 기능으로, 직관적인 인터페이스로, 최소한의 교육을 통해 단위를 빠르고, 쉽게 구성하고, 운영할 수 있습니다. 이 기계는 수작업 (manual intervention) 이 필요 없이 웨이퍼 (wafer) 를 자동으로 충전하고, 건조기로 전송하고, 프로세스 매개변수를 제어할 수 있도록 설계되었습니다. 이렇게 하면 처리 오류를 최소화하고 생산성을 향상시킬 수 있습니다. DAINIPPON SCW-80A (DAINIPPON SCW-80A) 에는 응용 프로그램의 특정 요구에 맞게 조정할 수있는 고급 사전 처리 및 린스 솔루션 툴이 장착되어 있습니다. 따라서 사전 처리 (pre-treatment) 및 린스 (rinse) 솔루션을 수동으로 혼합하고 제어하는 데 필요한 시간을 줄여 처리량을 늘릴 수 있습니다. DNS/DAINIPPON SCW-80A는 또한 혁신적인 웨이퍼 건조 자산을 특징으로하며, 이는 웨이퍼 표면에서 포스트 개발 잔류를 빠르고 효율적으로 제거하도록 설계되었습니다. 이는 고품질 결과를 보장하고 오염을 방지하는 데 매우 중요합니다. 건조 모델은 활성 공기 폭발 수술 (active air-blast operation) 을 사용하여 웨이퍼 (wafer) 에 공기 방울을 뿌리고 잔류 물을 제거하고 기압으로 인한 왜곡으로부터 중요한 세부 사항을 보호합니다. 또한 SCW-80A 는 추가 사용자 정의를 위해 장비에 추가할 수 있는 추가 옵션 (옵션) 의 이점을 제공합니다. 여기에는 포토리스 (photoresist) 과정에서 결함 또는 불규칙성을 감지하는 데 사용할 수있는 통합 웨이퍼 검사 시스템이 포함됩니다. 프로세스 제어를 강화하고 정확한 결과를 보장하기 위해 웨이퍼 온도 및 습도 단위 (wafer temperature and humidity unit) 를 추가 할 수도 있습니다. 전반적으로, SC-W80A는 고급 포토 esist 프리 트리터 (pre-treater) 이며 모든 생산 환경에서 훌륭한 결과를 제공 할 수있는 건조기 (dryer machine) 를 개발합니다. 다용도, 사용자 친화적 인터페이스, 고급 건조 도구 (Advanced Drying Tool) 를 통해 다양한 어플리케이션에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다. 또한, 추가 옵션 (옵션) 은 더 많은 사용자 정의 및 photoresist 프로세스에 대한 더 큰 제어를 제공 할 수 있습니다.