판매용 중고 DNS / DAINIPPON SC-W80A #9269116

DNS / DAINIPPON SC-W80A
ID: 9269116
웨이퍼 크기: 8"
Coater, 8".
DNS/DAINIPPON SC-W80A는 단일 웨이퍼 사진 해설을위한 모든 기능을 갖춘 포토리스 장비입니다. 시스템은 1 단계 웨이퍼 홀더, 웨이퍼 포지셔닝 장치 및 스캐너로 구성됩니다. 다양한 포토리스 (photoresist) 옵션을 통해 다양한 에칭 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. 이 기계는 표준 사진 마스킹 (photo-masking) 및 패턴 (patterning) 방법론과 최대 100mW의 광원을 사용하여 웨이퍼 표면의 저항 재료를 패턴화합니다. 이 도구의 용량은 8 인치 웨이퍼 용량이며, 다양한 웨이퍼 크기를 수용 할 수있는 조정 가능한 웨이퍼 플레이트가 있습니다. 웨이퍼 홀더의 동작 범위는 최대 80 도이며, 노출 중 정확한 웨이퍼 포지셔닝이 가능합니다. DNS SC-W80A에는 1.2um 해상도, 최대 30mm/s 스캔 속도 및 1jm 반복 가능한 정확도를 제공하는 다중 축 스캐닝 에셋이 장착되어 있습니다. 또한, 모델은 최대 4 개의 다른 패턴을 동시에 스캔할 수 있으며, 이는 소프트웨어에서 사전 설정 할 수 있습니다. 이를 통해 매우 정확한 패턴을 빠르고 효율적으로 생산할 수 있습니다. 이 장비는 완전한 자동화를 제공하여 쉽게 작동 할 수 있습니다. 자동 입력 프로세스는 터치 패널 컨트롤 시스템 (touch panel control system) 과 바코드 (bar code) 레이블을 사용하여 필요한 모든 재료를 빠르게 로드합니다. 또한, 이 장치는 직관적인 사용자 인터페이스를 제공하며, 이 인터페이스를 사용하여 설정을 사용자 정의하고 웨이퍼 (wafer) 프로세스를 제어할 수 있습니다. 마지막으로, DAINIPPON SCW-80A에는 최고 품질의 결과를 보장하는 다양한 고급 기능이 포함되어 있습니다. 여기에는 정확한 제로 포인트 노출 수준을 유지하기위한 압력 제어 기계가 포함됩니다. 자동 노출 교정; 어두운 필드와 어두운 패턴 보정; 자동 도구 감지 및 청소 기능. 이러한 기능은 이 고성능 포토레시스트 (photoresist) 도구의 특징으로, 시간이 지남에 따라 안정적이고 일관된 결과를 제공합니다.
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