판매용 중고 DNS / DAINIPPON SC-W80A #293592644
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DNS/DAINIPPON SC-W80A는 6 "/8 "반도체 및 평면 패널 디스플레이 및 기타 넓은 영역 기판의 포토 esist 및 POST 노출 베이크 (PEB) 적용에 사용되는 자동 포토 esist 장비입니다. 사전 굽기, 저항 스핀, 포토 esist 정렬, 노출 및 PEB를위한 정밀 제어 프로세스를 포함하는 완전히 자동화되고 정확도가 높은 시스템입니다. DNS SC-W80A 장치의 주요 특징은 높은 정확도와 정확도입니다. 여기에는 CCD 현미경 도구 (CCD microscope tool) 와 자율 위치화 장치 (autonomous positioning machine) 가 장착되어 있어 기판에 포토 esist를 정확하게 정렬하고 배치 할 수 있습니다. 또한, 일관되고 반복 가능한 두께로 균질 한 저항을 보장하는 이중 진동 메커니즘이 있으며, 이는 높은 수확량을 보장하고 균일 한 공정 결과를 산출합니다. 광저항 노출 (photoresist exposure) 프로세스는 광학 기술과 디지털 기술을 결합하여 탁월한 이미지 정확도와 해상도를 제공하는 마스크 없는 노출 (maskless exposure) 도구를 사용하여 수행됩니다. 이 에셋은 또한 고속 광섬유 컨트롤러와 결합된 디지털 노출 패턴 생성기 (digital exposure pattern generator) 를 통해 노출 시간이 빨라지고 노출 정확도가 향상됩니다. 노출 후 베이크 단계는 또한 높은 정확성과 반복성으로 수행됩니다. 이 모델에는 고속 베이킹 오븐 (Oven) 과 고급 제어 기술 (Advanced Control Technology) 이 장착되어 있어 웨이퍼의 균질한 베이킹으로 일관되고 안정적인 포스트 베이크 결과를 얻을 수 있습니다. DAINIPPON SCW-80A는 최첨단 기술과 프로세스를 결합하여 고객에게 생산라인을 위한 안정적이고 반복 가능한 포토리스 (photoresist) 장비를 제공합니다. 스핀 (spin), 노출 (exposure) 및 베이킹 (baking) 공정에서 높은 정확도를 보장하여 우수한 수율과 균일 한 공정 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 고급 자동화 기능을 통해 프로세스 시간 단축, 유연성 향상, 제품 품질 향상, 비용 경쟁력 향상 등의 효과를 얻을 수 있습니다.
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