판매용 중고 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AVQ #9373064

DNS/DAINIPPON SC-W80A-AVQ는 볼륨 생산 응용 프로그램에서 대규모 웨이퍼를 처리 할 수있는 자동 포토리스 처리 장비입니다. 최대 8 인치 크기의 웨이퍼의 단일 마스크 및 다중 마스크 레이어 처리를 위해 설계되었으며, 포토 마스크 등록 정확도 (-5õm) 를 달성 할 수 있습니다. 이 시스템에는 고속, 높은 정확도, 다중 축 검사 및 패턴 인식 장치도 있습니다. DNS SC-W80A-AVQ는 다양한 기능을 제공하여 고품질 출력을 보장합니다. 자동 웨이퍼 정렬 장치 (Automatic Wafer Alignment Machine) 가 장착되어 있으며, 처리 중에 포토 마스크 (photomask) 와 기판 (Substrate) 사이의 ± 0.5äm 오정렬 작업을 처리할 수 있으며 잘못 정렬 된 기판을 식별하고 거부 할 수 있습니다. 이 도구는 또한 고성능 경사 에칭 에셋 (bevel-etching asset) 을 특징으로하며, 특히 높은 종횡비 구조와 임베디드 라인/구멍을 위해 설계되었습니다. 또한 이 모델은 저렴한 가격과 높은 생산성 운영을 위해 설계되었습니다. 고속, 높은 정확도의 전송 장비가 장착되어 있으며, 최고 200 웨이퍼/시의 처리량으로 주기 시간 (-8 초) 을 달성 할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 멀티 레이어 카세트 장치 (multi-layer cassette unit) 를 갖추고 있으며, 최대 20개의 포토마스크를 저장할 수 있으며, 여러 마스크를 연속적으로 실행할 수 있습니다. DAINIPPON SCW-80A-AVQ에는 다양한 모니터링 및 제어 기능이 장착되어 있습니다. 이러한 기능에는 기판 정렬 및 노출 조건에 대한 실시간 모니터링 (real-time monitoring), 시스템 작동 및 모니터링이 용이한 전용 컨트롤러 장치 (controller unit) 가 포함됩니다. 이 툴에는 프로세스 특성과 매개변수를 저장하고 검토하고 새로운 단일 (single) 또는 반복 (repeated) 프로세스 레시피를 신속하게 입력할 수 있는 정교한 데이터 관리 에셋도 포함되어 있습니다. 고품질 출력을 보장하기 위해 DNS SCW-80A-AVQ에는 통합 결함 감지 모델이 있습니다. 이 장비는 입자, 주름, 껍질 벗기기 및 저개발과 같은 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한 PWB에서 벤딩, 얇음, 마모와 같은 비정상적인 신호를 감지하고 분석 할 수있는 자동 PWB 품질 제어 시스템 (Automated PWB Quality Control System) 이 장착되어 있습니다. 전반적으로 SC-W80A-AVQ 포토레스 처리 장치는 볼륨 생산 응용 프로그램을 용이하게하도록 설계된 고급의 고성능 기계입니다. 고속, 고속 전송/패턴 인식 시스템, 정교한 데이터 관리/모니터링 시스템 등 다양한 기능을 제공합니다. 따라서 DNS/DAINIPPON SCW-80A-AVQ는 높은 수준의 photomask 등록 정확성과 결함 제어가 필요한 모든 실험실 또는 생산 환경에 이상적인 선택입니다.