판매용 중고 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AVQ #9095606

DNS/DAINIPPON SC-W80A-AVQ는 기판에 얇은 포토 esist 필름을 증착 할 수 있도록 설계된 포토 esist 코팅 장비입니다. 스핀들 증착 (spindle deposition) 방식을 활용해 다양한 크기의 웨이퍼에 포토리스 (photoresist) 를 적용하는 완전 자동화 시스템이다. 이 장치는 스핀들 증착 (spindle deposition) 을 사용하는데, 이 공정은 x, y 및 z 축을 따라 스핀 코터 스핀들을 회전시켜 포토 esist의 균일 한 증착을 허용합니다. 스핀들은 최고 300 RPM의 속도로 회전 할 수 있으며, 정확하고 정확한 코팅에 적합합니다. 또한, 속도를 0.1 RPM 내에서 조정하여 프로세스를 추가로 최적화 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 공랭식 장치 (air cooling unit) 를 내장하여 웨이퍼의 포토 esist가 과열되지 않는지 확인합니다. 이 도구는 포토 에스트 (photoresist) 의 정확하고 정확한 증착을 보장하고 기판에 적용되는 유량 (flowrate) 과 총 필름 (film) 질량이 전체 코팅 전체에서 비교적 유지되도록 다양한 펌프, 밸브 및 노즐 조절기를 갖추고 있습니다. 또한이 자산은 또한 피드 포워드 (feedforward) 보상을 통해 정확하고 반복 가능한 코팅을 제공합니다. 이 모델에는 손쉬운 작동을 위한 터치스크린 (Touch Screen) 이 장착되어 있으며, 고유한 알고리즘 모니터링 기능을 통해 쉽고 빠른 통계적 프로세스 제어 및 피드백 제어 (feedback control) 기능을 제공합니다. 이렇게 하면 모든 사용자정의 설정이 최적의 결과에 맞게 자동으로 조정됩니다. 이 장비 는 또한, 사업자 들 의 안전 을 보장 하기 위한, 매우 다양 한 안전 "시스템 '을 갖추고 있다. 여기에는 외투 보호 시스템, 과속 보호 장치 및 과다 배수 보호 시스템이 포함됩니다. 이러 한 안전 장치 는 모두 "코우팅 '되고 있는" 오퍼레이터' 와 "웨이퍼 '를 모두 보호 하는 역할 을 한다. 결론적으로 DNS SC-W80A-AVQ는 매우 정확하고 잘 설계된 포토 esist 코팅 도구입니다. 다양한 기능을 통해 정확하고 반복 가능한 코팅이 가능하며, 다양한 안전 시스템 (Safety System) 은 운영자의 안전과 모든 안전 규정을 준수합니다. 이를 통해 자산은 고도의 정밀 코팅 요구에 이상적인 선택이됩니다.