판매용 중고 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AVG #293705460
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DNS/DAINIPPON SC-W80A-AVG Photoresist Equipment는 반도체 장치 제작을 위해 설계된 전문 사진 분석 시스템입니다. 고급 자외선 레이저를 사용하여 광저시스트 (반도체 공정 단계에서 마스크를 만드는 데 사용되는 빛에 민감한 폴리머) 에 패턴을 정확하게 노출시킵니다. 이 장치는 최신 기술 (예: 고해상도 optics) 과 최적화된 소프트웨어 인터페이스를 결합하여 뛰어난 이미징 결과와 프로세스 반복성을 제공합니다. DNS SC-W80A-AVG에는 자외선 레이저와 광학이 장착된 초고해상도 스테퍼/스캐너 (stepper/scanner) 가 포함되어 있어 이미지 패턴을 포토레지스트로 투영하고 이동합니다. 스테퍼/스캐너는 스캔 모드 (Scan Mode) 또는 레이저 모드 (Laser Mode) 로 작동하여 사용자가 최대의 유연성을 제공합니다. 이 시스템에는 이미지 처리 매개변수 (예: 노출 및 용량 설정) 를 제어하기 위한 최적화된 GUI (Graphical User Interface) 도 포함되어 있습니다. 레이저 소스는 워밍업 시간이 필요하지 않으며, 소형의 노출 현물 크기 (5äm) 를 제공하는데, 이는 마이크로 일렉트로닉스 산업에 이상적입니다. 노출 중 발생할 수있는 초점 외 (out-of-focus) 또는 구형 수차를 최소화하도록 설계되었습니다. 또한, 이미징 작업 시 필요한 스캔 시간을 줄이고, 처리량을 향상시키고, 대기 시간을 제거하도록 설계되었습니다. DAINIPPON SC-W80A-AVG에는 안전하고 신뢰할 수있는 포토 esist 처리를 위해 진공 척 및 제어 된 주변 챔버도 포함됩니다. 이 척 (chuck) 은 안정적이고 반복 가능한 정렬을 제공하며, 4 점 제어 도구는 진동을 줄이고 고품질 이미지를 생성합니다. 주위 의 "챔버 '는 조종 된 대기 를 공급 해 주며 오염 으로부터 보호 해 주며, 그것 은 광전자 처리 에 이상적 인 환경 을 보장 해 준다. 에셋은 또한 Z 도 제어, X-Y 방향 신호 조정, 집중 빔 출력 제어, 이미지 에지 향상 등의 고급 노출 제어 기능을 갖추고 있습니다. 그것은 ± 2äm의 반복 가능성으로 ± 5äm의 전체 정확도를 갖습니다. SC-W80A-AVG에는 데이터 저장 및 검색 모델, 진단 피드백 장비, 유지 보수 경고 시스템 등 다양한 기능이 포함되어 있습니다. 업계 최고의 화질과 반복 기능을 필요로 하는 제조업체와 R&D (R&D) 조직에 적합한 제품입니다.
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