판매용 중고 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AVFGLP #9300629
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ID: 9300629
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1996
SOG Curing furnace, 8"
Cassette to cassette
Buffer indexer interface between SOG Track and furnace
Vertical / Horizontal laminar flow loader station
(3) Zone vertical tube furnaces
1996 vintage.
DNS/DAINIPPON SC-W80A-AVFGLP는 마이크로 전자 산업의 대용량 생산 프로세스를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. '자동 프로세스 (Automated Process)' 와 함께 최신 '사진 방지 (Photo-Resist)' 기술을 결합한 고급 툴로서 프로세스 제어를 유지하면서 최고의 수율을 제공할 수 있습니다. 시스템은 사전 처리 장치와 웨이퍼 처리 장치 (wafer processing unit) 의 두 부분으로 구성됩니다. 전처리 장치 (pre-treatment unit) 는 처리가 이루어지기 전에 포토 esist 물질의 필름을 웨이퍼에 놓도록 설계되었습니다. 이 영화는 신뢰할 수있는 수확량에 필요한 균일 한 코팅을 보장합니다. 웨이퍼 처리 장치는 photolithography를 사용하여 웨이퍼 서피스의 패턴을 정의하도록 설계되었습니다. 이것은 photoresist 스트리퍼에서 photoresist 및 cleansing에 대한 추가 처리로 달성됩니다. DNS SCW-80A-AVFGLP는 웨이퍼 표면에 피치를 정확하게 정렬하는 고정밀 스테퍼 모터를 갖추고 있습니다. 이것은 웨이퍼에 정확하고 균일 한 패턴을 보장합니다. 다른 기능으로는 더 정확한 움직임을위한 레이저 정렬기 (Laser aligner), 다양한 광학 및 전자 센서 및 공정 (High Yield) 이 있습니다. 이 장치에는 처리 된 웨이퍼를 빠르게 정렬하는 자동 정렬기가 있습니다. DAINIPPON SC-W80A-AVFG (LP) 의 성능은 기계가 제공 한 자동화로 인해 정확하고 재현 가능한 것으로보고되었습니다. 소프트웨어는 온도, 노출 시간, 가공 재료, 가공 단계 등의 매개변수를 제어합니다. 이는 균일 한 결과 옵션 시간을 전달하는 데 도움이됩니다. 이 도구는 또한 높은 처리량을 위해 설계되었으며, 스테퍼 모터는 초당 최대 6 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 요약하면, DNS/DAINIPPON SCW-80A-AVFGLP는 마이크로 일렉트로닉스 업계에서 높은 처리량 생산을 위해 설계된 고급 포토레시스트 자산입니다. "레이저 '정렬 장치, 자동화, 정밀 운동 및 공정 조절 장치 의 결합 으로, 높은 수율 로 정확 하고 재현 가능 한 결과 를 얻을 수 있다.
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