판매용 중고 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AVFG #9095605

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DNS / DAINIPPON SC-W80A-AVFG
판매
ID: 9095605
빈티지: 5"
Coater system, 5", 2000 vintage.
DNS/DAINIPPON SC-W80A-AVFG는 DNS Screen에서 개발 한 차세대 포토레스 처리 장비로, 반도체와 LCD 산업의 고객이 더 빠르고 정확한 처리를 위해 현재와 새로운 요구 사항을 충족할 수 있도록 지원합니다. DNS SC-W80A-AVFG는 최대 0.25 마이크로 미터의 정확하고 균일 한 노출 정확성을 가능하게하는 고급 고속 선형 스테퍼 기술을 갖추고 있습니다. 이 시스템은 코팅 분배율 (coating dispense rate) 과 정밀 노출 시간 (precision exposure time) 을 사용하여 세심한 반복 가능한 결과를 제공합니다. 동적 영역 노출 제어를 통해 DAINIPPON SCW-80A-AVFG는 기판 두께, 마스크 정렬 및 기타 변수의 차이를 빠르게 조정하여 처리 정확도를 극대화할 수 있습니다. 처리 중 정확성과 일관성을 보장하기 위해 SCW-80A-AVFG에는 다음과 같은 특징이 있습니다. 앤티 빔 워킹 (Anti-Beam Walking), 노출 주기 동안 생산 된 빔 방황을 보완하여 웨이퍼 정확도를 향상시키는 빔 모니터링 장치; 상태 보호기 (State Saver) - 예기치 않게 중지되거나 중단될 수 있는 노출 조건을 자동으로 저장합니다. DNS SCW-80A-AVFG의 다른 기능으로는 20 MHz 모니터 전원 공급 장치를 갖춘 고해상도 이미지 제어 시스템, 고감도 광학 제어 광 측정 도구, 고속, 고정밀 웨이퍼 포지셔닝 자산, 전체 표면에 균일 한 웨이퍼 노출을위한 향상된 제어 기능. 이 모델은 또한 더 높은 처리량 및 모듈식 웨이퍼 핸들러 (modular wafer handler) 를 다중 패턴 시프트 정렬하여 입자 오염 위험을 줄일 수 있습니다. DAINIPPON SC-W80A-AVFG는 독보적인 자동 중단 노출 방지 장비 (Automatic Interrupted Exposure Prevention) 장비와 여러 수준의 안전 장치 모니터링 등 처리 중 예상치 못한 문제를 방지하는 강력한 안전 기능으로 설계되었습니다. 이를 통해 시스템은 대용량 생산에 이상적이며, 지속적으로 안전하게 생산할 수 있습니다. 전반적으로 DNS/DAINIPPON SCW-80A-AVFG는 반도체 및 LCD 산업의 고객이 빠르고 정확하며 반복 가능한 이미지 제어에 대한 현재의 요구를 충족하도록 돕는 혁신적인 정교한 포토리스 처리 장치입니다. 고급 기능 (Advanced Features) 은 모든 프로세싱 작업의 중요한 부분이며, 성능 향상과 고객 만족도를 높일 수 있습니다.
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