판매용 중고 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AV #293617281

ID: 293617281
빈티지: 1992
Coater / Developer system 1992 vintage.
DNS/DAINIPPON SC-W80A-AV는 스핀 코팅에 의해 기판에 포토 esist 물질을 정확하게 적용하도록 설계된 완전 자동화 된 포토 esist 장비입니다. 그것 은 회전 하는 "디스크 '를 가진" 플랫폼' 을 갖추고 있는데, 그것 은 그 기판 을 더 낮은 "챔버 '로 회전 시켜 감광 물질 을 고르게 분배 시킨다. 기판은 챔버 (chamber) 에 배치되며, 포토리스 스트 (photoresist) 를 수신하기 위해 기판을 준비하기 위해 사전 조절된다. 사전 조절 후, 포토 esist가 챔버에 추가된다. 광전자가 챔버에 추가 된 후, 기질은 다양한 속도 및/또는 다양한 방향으로 회전하여 광전사 (photoresist) 를 확산시키고 심지어 분포를 보장한다. 이 시스템은 코팅 프로세스를 세밀하게 조정하고 최적의 적용을 제공하기 위해 이러한 스핀 코팅 매개변수 (spin-coating parameters) 를 정확하게 조정할 수 있습니다. 이 장치는 컴퓨터 기반의 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface) 로 제어되며, 사용자는 챔버 (Chamber) 와 기판에 대한 설정을 쉽게 구성할 수 있습니다. 또한, 시스템에는 통합 웹 지원 데이터 로거가 장착되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 스핀 코팅 (spin-coating) 프로세스를 원격으로 모니터링, 기록할 수 있으며, 필요한 조정을 위해 결과를 보고 분석할 수 있습니다. DNS SC-W80A-AV 는 광범위한 코팅 (coating) 요구 사항을 충족시켜 뛰어난 유연성과 다용성을 제공합니다. 이 도구는 다양한 크기, 모양 및 재료의 기판을 8 인치 직경까지 처리 할 수 있습니다. 또한, 자산에는 빠른 릴리스 메커니즘 (quick-release mechanism) 이 장착되어 있어 적절한 바람 장벽과 밀폐 무결성을 유지하면서 기판을 쉽게 변경할 수 있습니다. 이 모델은 스핀 코팅 프로세스에서 높은 정밀도와 반복 성을 보장하도록 설계되었습니다. 플랫폼은 터치 타입 커패시티브 레벨 시트 센서 (touch-type capacitive level sheet sensor) 를 사용하여 기판의 존재를 감지합니다. 이를 통해 장비는 기판의 높이를 정확하게 측정하고 그에 따라 스핀 코팅 매개변수를 조정할 수 있습니다. 또한, 이 시스템에는 내장 시각 검사 장치 (vision inspection unit) 가 포함되어 있어 제조 전에 photoresist의 결함을 확인할 수 있습니다. 전반적으로, DAINIPPON SCW-80A-AV (DAINIPPON SCW-80A-AV) 는 매우 정확하고 사용자 친화적 인 포토레스 응용 프로그램 머신으로, 사용자에게 스핀 코팅 프로세스에서 원하는 결과를 얻을 수있는 광범위한 옵션을 제공합니다. 통합된 데이터 로깅 도구, 정확한 조정 설정, 자동화된 운영 (automated operation) 을 갖춘 이 자산은 정확하고 효율적인 포토레시스트 (photoresist) 애플리케이션에 적합하므로 연구 실험실, 생산 시설 및 기타 산업 환경에 귀중한 도구입니다.
아직 리뷰가 없습니다