판매용 중고 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AG #9227384

DNS/DAINIPPON SC-W80A-AG 포토 esist 장비는 반도체 제조 및 기타 유형의 마이크로 일렉트로닉 제조에 사용되는 포토 리토 그래피 시스템 유형입니다. 이 장치는 회절 격자 광학이 장착 된 프로그래밍 가능한 저속 접촉 레이저 스캐너입니다. 스캔 면적은 80mm x 80mm이며 미크론에서 사각형 및 사각형 광사 패턴을 서브 미크론 범위에 노출 할 수 있습니다. 이 기계는 일반적으로 Silicon Wafers와 같은 엔지니어링 기판에 사용됩니다. DNS SCW-80A-AG 도구는 스캔 광학의 일부로 회절 격자를 사용하는 접촉 레이저 스캔 헤드를 사용합니다. 회절 격자는 레이저 빔을 여러 회절 된 빔 (diffracted beam) 으로 분리 한 다음 웨이퍼 표면 (wafer surface) 으로 이동시키는 역할을합니다. 변조 된 광선 은 "레이저 '의 출력 이 변화 되어 여러 개 의" 픽셀' (pixel) 즉 동일 한 강도 의 작은 평행사변형 (parallelogram) 을 형성 할 때 형성 된다. 그런 다음, 이 변조 된 광선 을 사용 하여 광전자 코팅 "웨이퍼 '에 원하는" 패턴' 을 노출 시킨다. DNS 시스템은 정확하고 반복 가능한 패턴 (pattern), 배치 처리 시 높은 웨이퍼 개수를 위한 높은 처리량 속도 (Throughput Speed), 뛰어난 해상도로 세밀한 패턴 정의를 가능하게 합니다. 이 자산은 서브 미크론 (Sub-micron) 의 패턴을 10 µm 이하의 고밀도 균일 한 피쳐 크기에 노출 할 수 있습니다. DAINIPPON SC W80A AG 모델은 DRAM, DRAM 유형 메모리 및 대규모 통합 (LSI) 회로 패턴과 같은 다양한 응용 프로그램을 인쇄하는 데 사용할 수 있습니다. 이 장비의 해상도 (resolution) 기능은 사용된 사진의 특성, 노출되는 장치 패턴의 정교함, 스캐너의 광학 해상도 (optical resolution) 기능에 따라 달라집니다. 이 시스템은 MOD-X, Vision Plus 및 Autoline 웨이퍼 인식 시스템 및 기타 널리 사용되는 CAD 및 포토 마스크 시스템과 호환됩니다. 이 장치에는 터치 스크린 모니터 컨트롤 및 정밀 정렬 오프셋 조정을 위한 AAA (Auto-Alignment Algorithm) 와 같은 사용자에게 친숙한 옵션도 있습니다. DNS SC-W80A-AG 기계는 복잡한 장치를 위해 매우 정확한 패턴을 만드는 안정적인 수단을 제공합니다. 고해상도 스캐닝 기능, 탁월한 처리량, 사용자 친화적 기능을 갖춘 이 툴은 생산형 반도체 (production-scale semiconductor) 및 마이크로일렉트로닉스 (microelectronics) 장치 제작을 위한 경제적이고 효율적인 솔루션입니다.