판매용 중고 DNS / DAINIPPON SC-W60A #9181754

DNS / DAINIPPON SC-W60A
ID: 9181754
웨이퍼 크기: 8"
Coater, 8".
DNS/DAINIPPON SC-W60A는 반도체 집적 회로 제조에 사용되도록 설계된 고급형 포토 esist 코팅 및 이미징 장비입니다. 이 시스템은 섀시, 레이저 광 프로젝터, 렌즈 어셈블리, 프로젝션 광학 및 조향 거울로 구성된 광학 영상 장치 (Optical Imaging Unit), 포토리스 코팅 재료를위한 통합 전달 머신 (Delivery Machine) 으로 구성됩니다. DNS SC-W60A 의 섀시는 이미징 툴을 위한 안정적인 환경으로 설계되어, 매우 훌륭한 기능을 코팅하는 경우에도 정확성과 정확성을 보장합니다. 진동 방지 마운트 (anti-vibration mount) 를 갖춘 모든 강철 구조는 자산이 가장 섬세한 패턴조차도 정확하게 추적 할 수있는 반면, 내장형 정밀 마이크로 컨트롤러 (micro-controller) 는 빠르고 안정적인 이미징 기능을 보장합니다. 이미징 모델은 포토레스 소재 (photoresist material) 에 직접 고품질 이미지를 생성하도록 설계되었습니다. 그것 은 "레이저 '광선 을 광사 에 투사 할 수 있으며, 그 광선 은" 필름' 의 표면 에 영상 이 된다. 이미징 장비는 또한 매우 정확하고 정확하도록 설계되었습니다. 즉, 복잡한 확장 (up- scaling) 및 다운스케일 (down-scaling) 패턴을 생성할 수 있어 왜곡이 거의 없는 작은 피쳐를 정확하게 생성할 수 있습니다. 그것의 고급 광학은 포토 esist 표면을 가로 질러 균일 한 빔 강도를 제공하여 100% 이미징 커버리지를 보장합니다. DAINIPPON SCW-60A의 통합 전달 시스템은 최적의 포토 esist 코팅을 제공하도록 설계되었습니다. 프로그래밍 가능한 롤러는 정확한 두께와 기판에서 코팅 (coating) 을 보장하는 반면, 멀티 스텝 전달 장치 (multi-step delivery unit) 는 매번 균일하고 일관된 전달 압력을 보장합니다. 기계는 또한 배달 속도를 빠르고 정확하게 변조 할 수 있으며, 폐기물이 거의 없음 (little-to-no) 으로 정밀 패턴 제어를 보장합니다. SC-W60A photoresist 도구는 반도체 집적 회로에서 고정밀 마이크로 구조를 생산하기위한 강력하고 정확한 도구입니다. 고급 설계 및 통합 제공 자산 (Delivery Asset) 을 통해 이미지 화질을 높일 수 있는 정확한 패턴을 일관되게 만들 수 있습니다. 진동 방지 마운트 (anti-vibration mount) 를 갖춘 모든 강철 구조는 장기 생산을 통해 안정성을 보장하는 반면, 프로그래밍 가능한 롤러 모델과 멀티 스텝 전달 장비는 폐기물이 거의 없습니다. 이러 한 모든 기능 들 이 결합 되어 현대 의 반도체 제조 필요 에 이상적 인 "포토레지스트 '장치 가 만들어진다.
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