판매용 중고 DNS / DAINIPPON SC-W60A #293768580

DNS / DAINIPPON SC-W60A
ID: 293768580
(2) Coater system.
DNS/DAINIPPON SC-W60A는 박막 금속화 프로세스를 위해 설계된 포토리스 처리 장비입니다. 이 "시스템 '은" 포토레지스트' 를 기판 표면 에 제거 하고 증착 시키기 위한 통합 장비 "플랫폼 '이며, 고정밀 전자 부품 제조 에 적합 하다. 이 장치에는 습식 처리 스테이션, 포토 esist 제거 기계 및 증기 증착 도구의 3 가지 주요 구성 요소가 포함됩니다. 습식 처리 스테이션 (Wet Processing Station) 에는 고품질 포토 esist 생산을위한 정밀 탱크 세트가 포함되어 있습니다. 탱크는 엄청나게 정확하며, 서브 미크론 저항 패턴 (sub-micron resist pattern) 을 형성하여 기판에 초미세 기능을 형성 할 수 있습니다. 이러한 탱크는 자동화된 볼륨 제어 (volume control), 압력 제어 (pressure control) 및 화학 제어 (chemical control) 기능을 통해 가장 최적의 처리 조건을 보장합니다. photoresist 제거 자산은 기판 표면에서 photoresist를 정확하게 제거하도록 설계되었습니다. 그것 은 강력 한 질소 "플라즈마 '를 사용 하여 광물질 을 기화 시키고, 깨끗 한 기질 표면 을 남긴다. 이 모델은 최대 55mm 크기의 기질에서 포토리스 스트 (photoresist) 를 제거 할 수 있으며, 정밀도는 최대 10nm까지 깊이 해상도를 달성 할 수 있습니다. 증기 증착 장비는 photoresist 응용 과정의 일부로 사용됩니다. 고온 증기 증착 공정을 사용하여 포토 esist를 적용합니다. 이 증착 과정은 매우 정확하며, 포토 esist를 0.1um 정확도 내에서 증착 할 수 있습니다. 전체 시스템은 엄격한 품질 관리 요구 사항에 따라 작동하도록 설계되었습니다. 이 단위는 두께 정밀도 측정, 서피스 청결 측정, 선 너비 측정, 현미경 측정 등 광범위한 테스트와 검사를 수행 할 수 있습니다. 이 테스트는 원하는 photoresist가 정확하고 신뢰할 수있는 방식으로 적용되도록 합니다. 전반적으로 DNS SC-W60A는 매우 세밀하고 정확한 기판 기능을 생성 할 수있는 고도의 포토 esist 처리 기계입니다. 이 도구는 고도의 정밀 전자 부품 (electronic component) 을 생산하기 위해 설계되었으며 일관성 있고, 안정적이며, 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계되었습니다.
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